[发明专利]多样化产品的黄光制作过程误差校正方法有效
| 申请号： | 200310120208.9 | 申请日： | 2003-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN1627186A | 公开（公告）日： | 2005-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王智明 | 申请（专利权）人： | 茂德科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 黄小临;王志森 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种多样化产品的曝光偏移与黄光尺寸损失的误差的校正方法。先针对主产品或次要杂项产品决定一适用的黄光反馈系统，接着分别对主产品或次要杂项产品提供不同的基准点与补偿差距值，最后进行黄光反馈系统参数值的计算。其中，将使用于次要杂项产品的黄光反馈系统的基准点与补偿差距值设计为与主产品相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 多样化 产品 制作 过程 误差 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多样化产品的黄光制作过程误差的校正方法，至少包含：决定一黄光反馈系统；提供一基准点；提供一补偿差距值；以及计算一黄光反馈系统参数值，用以估算出当次曝光操作的校正值，而为设备设定自动校正。
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