[发明专利]电布线结构、具有该结构的电光装置用基板及其制造方法无效
申请号: | 200410037591.6 | 申请日: | 2004-04-28 |
公开(公告)号: | CN1542511A | 公开(公告)日: | 2004-11-03 |
发明(设计)人: | 田口聪志;大池一夫;上原秀树;今井克浩;田中千浩 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02F1/133 | 分类号: | G02F1/133 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 陈海红;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种在形成包含耐腐蚀性金属布线和非耐腐蚀性金属布线在内的非线性元件等时,可同时形成的、且可获得良好的低电阻性及耐腐蚀性的电布线结构、电布线结构的制造方法、具有上述电布线结构的电光装置用基板、及电光装置、以及电光装置的制造方法。因此,在耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线,同时耐腐蚀性金属布线具有除去该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部,通过该露出部,通孔及跨非耐腐蚀性金属布线、露出部之上地形成的导电性无机氧化膜等电连接辅助部件可电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。 | ||
搜索关键词: | 布线 结构 具有 电光 装置 用基板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种电布线结构,是用于电连接耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线的电布线结构,其特征在于,在前述耐腐蚀性金属布线的表面上依次形成该耐腐蚀性金属的氧化层及非耐腐蚀性金属布线,同时前述耐腐蚀性金属布线具有去除了该耐腐蚀性金属的氧化层的露出部,通过该露出部,由电连接辅助部件电连接前述耐腐蚀性金属布线与非耐腐蚀性金属布线。
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