[发明专利]超声波清洗装置有效
| 申请号： | 200510082384.7 | 申请日： | 2005-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1712144A | 公开（公告）日： | 2005-12-28 |
| 发明（设计）人： | 樱井直明;藤田博 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/302 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供的超声波清洗装置，利用超声波授予头对被清洗物的被清洗面上的清洗液授予超声波并清洗所述被清洗面，所述超声波授予头具备：与所述被清洗面对向配置的、在位于所述被清洗面侧的第1面上具有曲面部的超声波传输部件，设置在位于所述超声波传输部件的第1面的相反侧的第2面上的、在振荡超声波的同时通过所述超声波传输部件将该超声波授予被清洗面上的清洗液的超声波振动器，以及设置在所述超声波传输部件上的、防止授予所述清洗液的超声波由所述被清洗面反射并通过所述超声波传输部件入射到所述超声波振动器的防止部。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种超声波清洗装置，其特征在于，具有对供给被清洗物的被清洗面的清洗液授予超声波并清洗所述被清洗面的超声波授予头，所述超声波授予头，具备：与所述被清洗面对向配置的、在位于所述被清洗面侧的第1面上具有曲面部的超声波传输部件，设置在位于所述超声波传输部件的第1面的相反侧的第2面上的、在振荡超声波的同时通过所述超声波传输部件将该超声波授予被清洗面上的清洗液的超声波振动器，以及设置在所述超声波传输部件上的、防止授予所述清洗液的超声波由所述被清洗面反射并通过所述超声波传输部件入射到所述超声波振动器的防止部。
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