[发明专利]混合尺度电子接口有效
申请号: | 200780003630.2 | 申请日: | 2007-01-26 |
公开(公告)号: | CN101375344A | 公开(公告)日: | 2009-02-25 |
发明(设计)人: | G·S·斯尼德尔;R·S·威廉斯 | 申请(专利权)人: | 惠普开发有限公司 |
主分类号: | G11C13/02 | 分类号: | G11C13/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李娜;张志醒 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供一种混合尺度电子器件接口。本发明的实施例针对包括在集成电路和电子装置中的混合尺度电子器件接口,其提供主要微米尺度或亚微米尺度层(302,308)的微米尺度特征和主要纳米尺度层(307,313)的纳米尺度特征之间的密集电互连。在本发明的一个实施例中,主要纳米尺度层包括亚微米尺度或微米尺度衬垫(306,312)的小方格图案,所述亚微米尺度或微米尺度衬垫由多组平行的,紧密间隔的纳米线束(314,316)之间的纳米线结(318)密集地互连。主要亚微米尺度或微米尺度层包括与主要纳米尺度层中的亚微米尺度或微米尺度衬垫(306,312)互补地设置的引线(304,310)。 | ||
搜索关键词: | 混合 尺度 电子 接口 | ||
【主权项】:
1.一种纳米尺度/微米尺度接口,包括:主要微米尺度层(302,308,图4A),其表面具有规则地图案化的引线(304,310);以及主要纳米尺度层(306,312,314,316,图4D),包括有序排列的衬垫互连的纳米线单元(307,313),衬垫互连的纳米线单元(307)的第一衬垫(306)位于主要微米尺度层的第一引线(304)之上,以通过位于第二引线之上、并且通过导电纳米线结(318)连接到所述第一衬垫互连的纳米线单元的衬垫互连的纳米线单元(313),将该第一引线电互连到第二引线(310)。
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