[发明专利]加热系统无效
| 申请号： | 200810086298.7 | 申请日： | 2008-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101545099A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 黄明鸿;叶公旭;杨正安;何建立 | 申请（专利权）人： | 东捷科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于设置于真空腔室内侧壁的加热系统，包含有：至少二加热装置，可分别独立控制调整其加热的温度，各加热装置皆包含有至少二加热器，二加热器是分别装设于真空腔室两侧的内壁，一加热装置的二加热器是设置于另一加热装置的二加热器上方，使一加热装置的加热器与另一加热装置的加热器呈上下排列。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种加热系统，设置于真空腔室内壁，其特征在于，包含有：至少二加热装置，该二加热装置分别独立控制调整其加热的温度，各该加热装置皆包含有至少二加热器，该二加热器分别装设于真空腔室两侧的内壁，一加热装置的二加热器设置于另一加热装置的二加热器上方，使一加热装置的加热器与另一加热装置的加热器呈上下排列。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
