[发明专利]静电消除器有效
| 申请号： | 200810189224.6 | 申请日： | 2008-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101472380A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 桥本正 | 申请（专利权）人： | 株式会社其恩斯 |
| 主分类号： | H05F3/04 | 分类号： | H05F3/04;H01T19/04 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾红霞;彭 会 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于精确地检测放电电极的污染状况的静电消除器，其中，将作为目标机架地线电流值的目标值从作为基准值的例如零值交替地改变到正侧和负侧，改变的程度设置为不影响工件的离子平衡，关于目标值的变化的跟踪时间即相位延迟随放电电极的污染状况而不同，并且随着污染的加重而变长，利用这一特性，准备多个阈值并把这些阈值与检测到的机架地线电流值比较，从而检测放电电极的污染状况。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 消除 | ||
【主权项】：
1. 一种静电消除器，其将高电压施加在放电电极上以产生离子，从而消除工件的静电，所述静电消除器包括：离子电流检测装置，其检测所述放电电极和机架地线之间的离子电流；离子产生控制装置，其调整要施加在所述放电电极上的电压，以便使由所述离子电流检测装置检测到的所述离子电流为规定的离子平衡目标值；目标值改变装置，其将所述离子平衡目标值改变为目标值偏移量，改变的程度设置为不影响所述工件的离子平衡；以及电极污染检测装置，其根据所述目标值改变装置改变所述离子平衡目标值时控制的跟踪性能的优劣检测所述放电电极的污染状况。
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