[发明专利]多自由度粗动工件台有效
| 申请号： | 200910247420.9 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102109770A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 范哲光;齐芊枫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的多自由度粗动工件台包括两个Y向直线电机、设置在两个Y向直线电机之间的横梁、一X向微动电机、一连接板和一X向电机；所述X向微动电机设置在一Y向直线电机的一侧，且与该Y向直线电机平行，所述X向微动电机通过所述连接板与该Y向直线电机连接；所述横梁的一端与所述连接板连接，所述横梁的另一端与另一Y向直线电机连接；在所述X向微动电机驱动下所述两个Y向直线电机作X向微量运动，用以保证两个Y向直线电机Y向运动时的直线度。本发明多自由度粗动工件台采用X向微动电机作辅助机构，由于X向微动电机的可控性，既保证了Y向直线电机在工作中有很高的直线度，又实现了大范围Rz运动。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 工件 | ||
【主权项】：
一种多自由度粗动工件台，包括两个Y向直线电机、设置在两个Y向直线电机之间的横梁、一工件台和一X向电机，其特征在于，还包括一X向微动电机和一连接板；所述X向微动电机设置在一Y向直线电机的一侧，所述X向微动电机通过所述连接板与该Y向直线电机连接；所述横梁的一端与所述连接板连接，所述横梁的另一端与另一Y向直线电机连接；在所述X向微动电机驱动下所述两个Y向直线电机作X向微量运动，用以保证两个Y向直线电机Y向运动时的直线度；所述横梁穿过所述工件台，所述X向电机设置在所述横梁与所述工件台之间，该X向电机驱动所述工件台在所述横梁上作X向运动。
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