[实用新型]石英晶片专用抛光盘无效
| 申请号： | 200920087656.6 | 申请日： | 2009-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN201552490U | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 卢美芝;吴刚;徐承红;杨岸博;朱永昌;李丽萍 | 申请（专利权）人： | 武汉海创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 陈家安 |
| 地址： | 430010 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 石英晶片专用抛光盘，它包括上抛光盘和下抛光盘，所述上抛光盘和下抛光盘上均固定有抛光垫，所述的抛光垫上有纵横交错的开槽。它克服了抛光盘为平面结构，导致抛光中抛光液流动差，不均匀，抛光出的抛光晶片频率散差大，次品和废品较多的缺点。本实用新型石英晶片专用抛光盘解决抛光液流动差的问题，方法简单，效果明显，降低了生产成本，工作效率提高了50％。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 晶片 专用 抛光 | ||
【主权项】：
石英晶片专用抛光盘，其特征在于它包括上抛光盘和下抛光盘，所述上抛光盘和下抛光盘上均固定有抛光垫，所述的抛光垫上有纵横交错的开槽。
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