[发明专利]干涉滤光器、光模块及分析装置

摘要

本发明提供了干涉滤光器、光模块和分析装置。该干涉滤光器的特征在于固定反射镜及可动反射镜是从Ag-Au合金膜、Ag-Cu合金膜、Ag-Au-Cu合金膜、Ag-Si-Cu合金膜、Ag-P-Cu合金膜、Ag-P-In-Cu合金膜、Ag-Te-Cu合金膜、Ag-Ga-Cu合金膜及Ag-In-Sn合金膜中选择的。

主权项

一种干涉滤光器，其特征在于，具备隔着间隙相对的两个反射膜，所述反射膜包括合金膜，所述合金膜是含有银(Ag)及金(Au)的Ag‑Au合金膜、含有银(Ag)及铜(Cu)的Ag‑Cu合金膜、含有银(Ag)、金(Au)及铜(Cu)的Ag‑Au‑Cu合金膜、含有银(Ag)、硅(Si)及铜(Cu)的Ag‑Si‑Cu合金膜、含有银(Ag)、磷(P)及铜(Cu)的Ag‑P‑Cu合金膜、含有银(Ag)、磷(P)、铟(In)及铜(Cu)的Ag‑P‑In‑Cu合金膜、含有银(Ag)、碲(Te)及铜(Cu)的Ag‑Te‑Cu合金膜、含有银(Ag)、镓(Ga)及铜(Cu)的Ag‑Ga‑Cu合金膜以及含有银(Ag)、铟(In)及锡(Sn)的Ag‑In‑Sn合金膜中的任一种。