[发明专利]可置于超高真空系统的具有耐高温高压可控反应仓的STM体系无效
| 申请号： | 201210438731.5 | 申请日： | 2012-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103808965A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 马晖 | 申请（专利权）人： | 马晖;储富强 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q30/16;G01Q30/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300201 天津市河*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明属于表面物理技术领域，尤其是扫描隧道显微镜领域。反应型扫描隧道显微镜是在现有STM的基础上，构建一种耐高温高压的结构单元——反应仓，进行有效密封之后，将其集成到STM上，可使STM在高温高压下工作。为了得到高品质的表面原子结构探测图像，反应型STM需要高度的稳定性、优越的减震装置，而这则需要通过精密的机械设计，使新增的反应仓完美的匹配在STM的底盘和支柱上，且能方便的开关反应仓以达到更换样品的需求。本发明借助两组风琴管装置，巧妙的解决了上述问题。 | ||
| 搜索关键词： | 置于 超高 真空 系统 具有 耐高温 高压 可控 反应 stm 体系 | ||
【主权项】：
一种可置于超高真空系统的具有耐高温高压可控反应仓的扫描隧道显微镜(STM)体系，其特征在于：同时使用缓冲垫、弹簧、电磁涡流阻尼三种减震方式，隔绝扰动，提高测量准确度；使用两组风琴管I、II实现STM反应仓门的开关以及STM与支架的贴合、脱离。
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