[实用新型]一种烘箱有效
申请号: | 201220193254.6 | 申请日: | 2012-04-28 |
公开(公告)号: | CN202533712U | 公开(公告)日: | 2012-11-14 |
发明(设计)人: | 王荣;张东广;李煜 | 申请(专利权)人: | 黄山金瑞泰科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/38 | 分类号: | G03F7/38;F26B21/02;F26B25/12 |
代理公司: | 合肥诚兴知识产权代理有限公司 34109 | 代理人: | 汤茂盛 |
地址: | 242700 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种烘箱,包括箱体,所述构成箱体的板体为夹层结构,所述夹层结构构成气体流动的通道,所述的通道与箱体内部腔室构成气体流动的循环通路,所述的循环通路上设有对气体进行加热的加热单元和为气体的流动提供动力的引风单元。本实用新型通过加热单元和引风单元向烘箱内部腔室内不断地通入被加热的气体,被加热的气体就可以均匀的充满整个腔室,由于被加热气体的温度均匀,所以腔室内的版体就可以进行均匀的热稳定处理,增加成品版体的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 烘箱 | ||
【主权项】:
一种烘箱,包括箱体,其特征在于:所述构成箱体的板体为夹层结构,所述夹层结构构成气体流动的通道,所述的通道与箱体内部腔室构成气体流动的循环通路,所述的循环通路上设有对气体进行加热的加热单元和为气体的流动提供动力的引风单元。
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- 佐竹亮;米泽裕之 - 富士胶片株式会社
- 2013-12-04 - 2015-08-12 - G03F7/38
- 本发明提供一种硬化膜的制造方法,其可提高硬化膜的分辨力。本发明的硬化膜的制造方法依次包括:(1)将感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤;(2)自感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤;(3)利用pKa为3以下的溶液对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行洗涤的步骤;(4)利用光化射线对感光性树脂组合物进行曝光的步骤;(5)利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤;以及(6)对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤;并且所述感光性树脂组合物含有:聚合物成分,包含满足下述(A1)及(A2)的至少一者的聚合物:(A1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基所保护的残基的构成单元及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物、(A2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基所保护的残基的构成单元的聚合物及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物;(B)光酸产生剂;以及(C)溶剂。
- 图案形成方法、电子元件的制造方法及电子元件-201480003097.X
- 吉留正洋;山中司 - 富士胶片株式会社
- 2014-04-24 - 2015-07-22 - G03F7/38
- 本发明提供一种图案形成方法,其包含:在基板上涂布溶剂(S)的步骤;在涂布有溶剂(S)的所述基板上涂布感光化射线性或感放射线性树脂组合物而形成感光化射线性或感放射线性膜的步骤;对所述感光化射线性或感放射线性膜进行曝光的步骤;及利用包含有机溶剂的显影液对进行了曝光的所述感光化射线性或感放射线性膜进行显影而形成负型图案的步骤。
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