[发明专利]图案测量装置以及图案测量方法有效
| 申请号： | 201280034653.0 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN103703341A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 柴原琢磨;及川道雄;北条穣;菅原仁志;新藤博之 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04;G01N23/225;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 洪秀川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案测量装置，以及图案测量方法，可削减OPC model calibration所需的计算时间、且使精度提高。图案测量装置具备：存储半导体的电路图案的掩模边缘数据以及拍摄了电路图案的图像数据的存储部；以图像数据作为输入而提取电路图案的SEM(Scanning Electron Microscope)轮廓线，基于掩模边缘数据和提取的SEM轮廓线的数据(SEM轮廓线数据)，在曝光模拟部生成预测SEM轮廓线的数据(预测SEM轮廓线数据)的SEM轮廓线提取部；以掩模边缘数据、SEM轮廓线数据、预测轮廓线数据作为输入，将SEM轮廓线数据以及预测SEM轮廓线数据分类为一维形状的轮廓线和二维形状的轮廓线的形状分类部；以SEM轮廓线数据和预测SEM轮廓线数据作为输入，对应于一维形状以及二维形状的种类，进行SEM轮廓线数据的取样的SEM轮廓线取样部。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 测量 装置 以及 测量方法 | ||
【主权项】：
一种图案测量装置，其特征在于，具备：存储部，其存储半导体的电路图案的掩模边缘数据、以及拍摄了所述电路图案的图像数据；S E M轮廓线提取部，其以所述图像数据作为输入而提取所述电路图案的S E M(Scanning Electron Microscope)轮廓线，基于所述掩模边缘数据与提取的所述S E M轮廓线的数据(S E M轮廓线数据)，在曝光模拟部生成预测S E M轮廓线的数据(预测S E M轮廓线数据)；形状分类部，其以所述掩模边缘数据、所述S E M轮廓线数据、和所述预测轮廓线数据作为输入，将所述S E M轮廓线数据以及所述预测S E M轮廓线数据分类为一维形状的轮廓线与二维形状的轮廓线；以及S E M轮廓线取样部，其以所述S E M轮廓线数据和所述预测S E M轮廓线数据作为输入，对应于所述一维形状以及所述二维形状的种类，进行所述S E M轮廓线数据的取样。
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- 柴原琢磨;及川道雄;北条穣;菅原仁志;新藤博之 - 株式会社日立高新技术
- 2012-03-23 - 2014-04-02 - G01B15/04
- 本发明提供一种图案测量装置，以及图案测量方法，可削减OPC model calibration所需的计算时间、且使精度提高。图案测量装置具备：存储半导体的电路图案的掩模边缘数据以及拍摄了电路图案的图像数据的存储部；以图像数据作为输入而提取电路图案的SEM(Scanning Electron Microscope)轮廓线，基于掩模边缘数据和提取的SEM轮廓线的数据(SEM轮廓线数据)，在曝光模拟部生成预测SEM轮廓线的数据(预测SEM轮廓线数据)的SEM轮廓线提取部；以掩模边缘数据、SEM轮廓线数据、预测轮廓线数据作为输入，将SEM轮廓线数据以及预测SEM轮廓线数据分类为一维形状的轮廓线和二维形状的轮廓线的形状分类部；以SEM轮廓线数据和预测SEM轮廓线数据作为输入，对应于一维形状以及二维形状的种类，进行SEM轮廓线数据的取样的SEM轮廓线取样部。
- 一种基于主动射线的旋转体轮廓检测系统及方法-201210131481.0
- 陈路佳 - 天津航旭科技发展有限公司
- 2012-05-02 - 2013-11-06 - G01B15/04
- 本发明属于旋转体检测技术，涉及对旋转体零件的非接触快速测量。该检测系统主要包括待测物传送机构、支撑夹持机构、射线发射及传感器采集装置、信号处理分析电路等四个部分。主要通过传送装置将待测旋转体传送至支撑板检测位置，由自动定心夹持机构进行固定。射线发射装置发出通过旋转体轴线的射线对旋转体进行取样扫描或连续扫描，再由传感器进行采集。信号处理分析电路对传感器采集的信息进行处理和计算，拟合出旋转体的轮廓，与预设值进行比对和分析，从而判断出旋转体的外形尺寸是否合格。从而实现对旋转体的非接触快速检测。
- 磨损寿命实时预测装置-201320093992.8
- 李娟;姬广振;刘英;刘勤;张纬静 - 中国兵器科学研究院
- 2013-03-01 - 2013-08-14 - G01B15/04
- 本实用新型涉及一种磨损寿命实时预测装置，能够在线预测机械产品磨损失效时间，可以帮助设计人员及早预测故障，为产品全周期寿命设计提供有效方法和手段。本实用新型公开的磨损寿命实时预测装置包括：实时监测系统和计算机，其中实时监测系统包括扫描电镜、磨损试验机和轮廓分析仪。
- 图案测定方法、图案测定装置以及利用其的程序-201180050911.X
- 笹岛二大;木村嘉宏 - 株式会社日立高新技术
- 2011-10-14 - 2013-06-26 - G01B15/04
- 在测定过程变动大的图案的情况下，在预先登记的测定区域中，若在测定对象图案的周围存在不是测定对象的图案或废料等的噪声时，则不能够进行正确测定。将样品的图像数据中的进行图案匹配而用于对位的规定的区域设定为从图案测定的对象中除外的非测定对象区域。例如在测定过程变动大的图案的情况下，图案匹配中仅使用包含过程变动小的图案在内的区域，图案测定时，将在图案匹配中使用而用于对位的规定的区域设定为非测定对象区域。由此，能够不受测定区域与非测定对象区域相重叠的区域的影响，即使对于过程变动大的图案也能够进行容易且稳定的图案测定。
- 专利分类
