[发明专利]一种用于负压扩散炉的源流量控制系统无效
| 申请号： | 201310752569.9 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103696020A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 孙朋涛;桂晓波 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陶金龙 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于负压扩散炉的源流量控制系统，其包括源流量提供单元、载气提供单元和压力控制单元；载气提供单元通过第一控制阀与源流量提供单元的气体输入端相连，压力控制单元连接在源流量提供单元输出端与负压扩散炉反应腔室之间，其能感测所述源流量提供单元两端的压力值或所述源流量提供单元输出端的压力值，并通过控制内部阀使压力控制单元入口处的工艺气体压力达到预定值，其中，工艺气体的压力预定值小于等于大气压。因此，本发明通过精准控制扩散炉的源流量，使通入反应腔室的源流量满足硅片方阻及结深的需求，从而大大减少了源流量的干扰因素,并且,还提供有效缜密的防爆防护措施。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 源流 控制系统 | ||
【主权项】：
一种用于负压扩散炉的源流量控制系统，其特征在于，包括：源流量提供单元，放置于源温控制器中，其包括气体输入端和气体输出端，气体输入端和气体输出端分别由单向阀防止倒充；载气提供单元，其一端与载气源相连，另一端通过第一控制阀与所述源流量提供单元的气体输入端相连；其中，所述源流量提供单元的气体输入端用于导入载气，所述源流量提供单元的气体输出端用于导出载气和源流量气体的混合物，即工艺气体；压力控制单元，连接在所述源流量提供单元输出端与负压扩散炉反应腔室之间，其能感测所述源流量提供单元两端的压力值或所述源流量提供单元输出端的压力值，并通过控制内部阀使压力控制单元入口处的工艺气体压力达到预定值，其中，所述工艺气体的压力预定值小于等于大气压。
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