[发明专利]具有在线校正功能的光学检测装置

摘要

本发明提供一种具有在线校正功能的光学检测装置，光学检测装置包含一分光模组、一光源模组、一光学检测模组及一校正模组，光源模组、光学检测模组及校正模组围绕分光模组设置，校正模组具有一校正图案，以对光学检测模组进行校正，而本发明的校正模组非设置于一待测物的表面，因此不受待测物的表面形态而影响校正光学检测模组的精度。此外校正模组与待测物为分开设置，光学检测模组校正完成后，不须移开校正模组，可立即进行待测物的检测，减少重新设置及移除校正模组的时间。

主权项

一种具有在线校正功能的光学检测装置，其特征在于，其包含：一分光模组，当一光线由该分光模组的第一侧进入该分光模组后，将分别由该分光模组的第三侧及第四侧射出，当该光线由该分光模组的第二侧进入该分光模组后，将分别由该分光模组的第三侧及第四侧射出；一光源模组，其设置于该分光模组的第一侧，该光源模组用以提供该光线；一光学检测模组，其设置于该分光模组的第二侧，该光学检测模组用以检测一待测物，该待测物设置于该分光模组的第四侧；以及一校正模组，其设置于该分光模组的第三侧，该校正模组用以提供一校正图案，以校正该光学检测模组。