[发明专利]超常压化学气相沉积装置有效
申请号: | 201410122524.8 | 申请日: | 2014-03-31 |
公开(公告)号: | CN104947087B | 公开(公告)日: | 2018-03-06 |
发明(设计)人: | 甘志银;胡少林 | 申请(专利权)人: | 甘志银 |
主分类号: | C23C16/52 | 分类号: | C23C16/52;C23C16/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528251 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种超常压化学气相沉积装置,主要包括外壳、保压腔体、反应腔体外壳、反应腔体。本发明采用设置保压腔体和反应腔体的双腔体结构,可以通过压力调节和设置使反应腔体相对保压腔体处于负压状态,即使反应腔体相对于保压腔体成为真空腔体,这样可以保留现有气相沉积装置反应腔体的真空密封设计,主要对保压腔体和保压外壳进行压力容器设计,极大简化超常压化学气相沉积装置设计,另外压力外壳和保压腔体的设置也在一定程度给反应腔体增加了一道保护屏障,而且保压腔体中的气体可以使用相对反应气体更为安全的气体,提高了设备安全性能。 | ||
搜索关键词: | 常压 化学 沉积 装置 | ||
【主权项】:
一种超常压化学气相沉积装置,主要包括:保压外壳(1)、保压腔体(2)、气体导入部件(3)、反应腔体(4)、反应腔体外壳(5)、载片盘(6)、衬底(7)、载片盘支撑(8)、加热部件(9)、加热部件支撑(10)、底座(11)、尾气出口(12)、外部接口(13),其特征在于所述保压腔体(2)位于保压外壳(1)和反应腔体外壳(5)之间,设置保压腔体(2)的工作压力高于反应腔体外壳(5)内反应腔体(4)的工作压力,以保证反应腔体(4)相对于保压腔体(2)为负压状态。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的