[发明专利]一种废液收集装置有效
| 申请号： | 201410252944.8 | 申请日： | 2014-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN105314579B | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 刘正伟 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B67C3/34 | 分类号： | B67C3/34 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种废液收集装置，可用于半导体晶片加工过程中匀胶、显影设备的废液收集，包括废液桶固定架、废液汇集盒、套管、手柄及废液桶，其中废液汇集盒安装在所述废液桶固定架上，该废液汇集盒的排废管上套设有可相对升降的套管；所述废液桶放置在废液桶固定架的下方，且该废液桶上的桶口与所述套管相对应，所述套管通过相连接的手柄的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口或由所述桶口抽出，所述废液汇集盒收集的废液通过套管流入所述废液桶中。本发明在废液汇集盒的排废管上套设了可升降的套管，利用手柄的抬起或下压，使套管升降，进而插入到废液桶中或从废液桶中抽出，既解决了废液桶易与排放管路粘连的问题，而且方便废液桶取放。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 废液 收集 装置 | ||
【主权项】：
一种废液收集装置，其特征在于：包括废液桶固定架(1)、废液汇集盒(2)、套管(3)、手柄(5)及废液桶(8)，其中废液汇集盒(2)安装在所述废液桶固定架(1)上，该废液汇集盒(2)的排废管(9)上套设有可相对升降的套管(3)；所述废液桶(8)放置在废液桶固定架(1)的下方，且该废液桶(8)上的桶口(10)与所述套管(3)相对应，所述套管(3)通过相连接的手柄(5)的抬起或下压实现升降，进而插入所述桶口(10)或由所述桶口(10)抽出，所述废液汇集盒(2)收集的废液通过套管(3)流入所述废液桶(8)中；所述手柄(5)通过压杆(4)与套管(3)相连，该压杆(4)的一端与所述套管(3)相连，另一端作为所述手柄(5)抬起或下压的支点、与所述废液桶固定架(1)抵接。
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- 专利分类
