[发明专利]一种微型阵列式磁通门传感器在审
| 申请号： | 201410781970.X | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN104614690A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 施云波;姜文娟;王向鑫;赵文杰;于洋 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01R33/04 | 分类号： | G01R33/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种微型阵列式磁通门传感器，包括：衬底、激励线圈、感应线圈、磁芯、焊盘、聚酰亚胺保护膜。传感器的磁芯设计为“田”字形环状闭合结构，由于这种结构具有闭合的对称磁通路径，从而能够减小磁漏现象。磁芯的每条边上绕有一组线圈，每组线圈分别引出焊盘，十二条边共有12组线圈。每组线圈绕有一定匝数的导线。本发明解决了微型化磁通门传感器的可靠性低和使用寿命短的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 阵列 式磁通门 传感器 | ||
【主权项】：
一种微型阵列式磁通门传感器，其特征在于包括：衬底1、激励线圈2、感应线圈3、磁芯4、焊盘5、聚酰亚胺保护膜6，传感器的磁芯设计为“田”字形环状闭合结构，由于这种结构具有闭合的对称磁通路径，从而能够减小磁漏现象，磁芯的每条边上绕有一组线圈，每组线圈分别引出焊盘5，十二条边共有12组线圈，每组线圈绕有一定匝数的导线；磁芯外围的八条边上分别绕制八组相互独立的三维螺线管激励线圈2，磁芯中心处的四条边上绕制四组三维螺线管感应线圈3；激励线圈2和感应线圈3均通过聚酰亚胺保护膜6与磁芯4绝缘隔离，激励线圈2和感应线圈3均位于衬底1上，激励线圈2和感应线圈3两端都连接焊盘5；由于X轴和Y轴两个方向上都有激励和检测线圈，因此可以同时检测两个方向上的磁场强度，通过对采集到的X、Y方向信号进行处理，可以得到平面内任意方向的磁场。
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- 本发明公开了一种采用多孔铁芯的微型磁通门传感器。硅基底(1)作为衬底支撑层；激励线圈(2)和感应线圈(3)采用三维螺线管结构，由两端通孔(4)连通上下层；铁芯(5)采用软磁材料、多孔结构，铁芯上的孔将铁芯分割形成多组局部变截面积结构；聚酰亚胺(6)作为各层之间的绝缘层；激励线圈对应“无孔”位置，感应线圈对应“有孔”位置，交替缠绕；激励线和感应线圈通过焊盘(7、8)引出。本发明所涉及的微型磁通门传感器能有效降低微型磁通门功耗，提高灵敏度。
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- 刘诗斌;冯文光;吕辉 - 西北工业大学
- 2015-04-11 - 2017-10-13 - G01R33/04
- 本发明公开了一种n形结构低功耗磁通门传感器，采用n形变截面积结构软磁铁芯，用印制电路板制作骨架，激励线圈缠绕在铁芯中间段大截面积部分对应的骨架外部，感应线圈缠绕在铁芯两端小截面积部分对应的骨架外部，激励线圈和感应线圈通过骨架上的相应焊盘引出。该低功耗磁通门传感器的铁芯结构降低了磁通门功耗，提高了激励线圈和感应线圈的绕线效率，降低了生产成本；激励线圈和感应线圈分开绕制，感应线圈同时缠绕在铁芯两端小截面积对应的骨架外部，保证了铁芯两端位置处线圈参数的一致性，简化了绕制过程，有利于减小磁通门尺寸。
- 一种基于实时时钟的磁通量采集仪-201621432169.5
- 孙立锴;王辅宋;刘付鹏;谢镇 - 江西飞尚科技有限公司
- 2016-12-23 - 2017-09-05 - G01R33/04
- 本实用新型提供了一种基于实时时钟的磁通量采集仪，包括微控制器MCU、实时时钟RTC、采集电路、数据存储模块、磁通量传感器，微控制器MCU连接实时时钟RTC、采集电路和数据存储模块；采集电路连接磁通量传感器。本实用新型在磁通量采集仪增加一个实时时钟电路微控制器MCU控制采集电路对磁通量传感器进行一次采集得到积分电压和温度，然后读取实时时钟的时间，保存到数据存储模块，当查看时，微控制器MCU从数据存储模块中读出所保存的积分电压、温度和时间。
- 一种芯片级封装的微型三轴磁通门磁力仪-201510811971.9
- 张跃;樊育存;林原;韩春翠 - 北京纳特斯拉科技有限公司
- 2015-11-20 - 2017-02-15 - G01R33/04
- 本发明公开了一种芯片级封装的微型三轴磁通门磁力仪，将微型三轴磁通门探头、三轴磁通门电路、MEMS加速表、MEMS陀螺、微处理器、直流电源转换器和接口电路分别固定在一个PCB板上，构成航姿参考系统。本发明的有益效果磁芯和三轴测量线圈共用一个骨架，体积极小，从而实现磁通门三轴一体且微型化。
- 一种三轴磁通门传感器-201611005081.X
- 雷冲;周勇 - 上海交通大学
- 2016-11-15 - 2017-02-15 - G01R33/04
- 本发明公开了一种三轴磁通门传感器，包括一个x‑y双轴平面磁通门传感器、一个z轴向单轴平面磁通门传感器；其中x‑y双轴芯片包含在同一硅衬底上的两个正交分布的单立的单轴平面磁通门传感器单元，且z轴向单轴平面磁通门传感器仅衬底材料采用大厚度玻璃衬底。利用硅‑玻璃键合技术将z轴向单轴芯片短轴端的侧面键合固定在x‑y双轴芯片硅衬底表面上，使z轴向单轴芯片的磁敏感轴垂直正交于x‑y双轴芯片的x、y轴向磁敏感轴，从而实现磁场的x、y、z正交性三分量探测。本发明解决了现有三轴磁通门传感器体积大、重量高、功耗大的问题，充分利用了微机电系统单轴磁通门传感器芯片体积小、功耗低、一致性高的优点，以及键合对准正交误差小的优势。
- 一种电能计量检查装置-201620469117.9
- 赵双;侯振凯;苗雨;李帅元 - 国网山东省电力公司平原县供电公司;国家电网公司
- 2016-05-19 - 2016-11-30 - G01R33/04
- 本实用新型公开了一种电能计量检查装置，主要涉及电能表领域。包括底板，若干倒T型限位块，相邻两个所述倒T型限位块之间设置检测部件壳体，检测部件壳体上设置竖直的探针，底板顶端设有中空的限位罩，限位罩内套设连杆，连杆底部设置推动板，连杆远离推动板的一端设置压杆，压杆的端部与连杆转动连接，压杆的中部设置支撑杆，支撑杆与压杆转动连接，支撑杆的另一端固设在底板的后侧面上。本实用新型能够同时把多个检测部件壳体上的多个检测端子全部插入电能表，方便快捷，能够同时对多个电能表进行检测，省时省力，节约劳动力，结构简单，操作方便，实用性好，方便检测不同型号的电能表，降低成本，安全高效。
- 一种基于MEMS技术的磁通门探头-201620187124.X
- 支萌辉;王纯配;乔东海 - 苏州大学
- 2016-03-11 - 2016-08-03 - G01R33/04
- 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的磁通门探头，所述磁通门探头包括二氧化硅基体、励磁线圈、感应线圈、磁芯、连接导体、引脚和聚酰亚胺材料；所述磁芯为闭合的矩形磁芯，磁芯的长边一侧对称的绕制不相连的两组三维螺线管励磁线圈，磁芯的长边另一侧设有与励磁线圈平行绕制的三维螺线管感应线圈，所述磁芯设于聚酰亚胺材料内部，所述励磁线圈和感应线圈均通过聚酰亚胺材料与磁芯绝缘隔离；所述励磁线圈和感应线圈均位于二氧化硅基体之上，并且两端均与引脚相连。本实用新型简化了MEMS的制备过程，还解决了励磁线圈和感应线圈的上下层线圈断路的问题。
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