[实用新型]镭射母版的光刻机有效
申请号: | 201420118893.5 | 申请日: | 2014-03-13 |
公开(公告)号: | CN204123818U | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 蔡旭楠;李晓笙 | 申请(专利权)人: | 广东东南薄膜科技股份有限公司 |
主分类号: | B41N1/00 | 分类号: | B41N1/00;G03F7/20 |
代理公司: | 汕头市潮睿专利事务有限公司 44230 | 代理人: | 郭晓刚;俞诗永 |
地址: | 515000 广东省汕头市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种镭射母板的光刻机,包括激光器、多分辨率遮眼片、第一折射透镜、第二折射透镜、缩微透镜、玻璃光栅片,所述激光器、玻璃光栅片、多分辨率遮眼片、第一折射透镜、第二折射透镜、缩微透镜依次呈光学配合排列。本实用新型能够实现具有宽幅镭射光柱素描水印定位标识全息图的镭射母版制作。 | ||
搜索关键词: | 镭射 母版 光刻 | ||
【主权项】:
一种镭射母版的光刻机,其特征在于:包括激光器、多分辨率遮眼片、第一折射透镜、第二折射透镜、缩微透镜、采用旋转电机控制其转动的玻璃光栅片,所述激光器、玻璃光栅片、多分辨率遮眼片、第一折射透镜、第二折射透镜、缩微透镜依次排列。
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