[发明专利]轻量化大抽速离子泵有效

专利信息
申请号: 201510024775.7 申请日: 2015-01-19
公开(公告)号: CN104952685B 公开(公告)日: 2017-11-21
发明(设计)人: 黄刚;李玉欣 申请(专利权)人: 中国航天员科研训练中心;上海三井真空设备有限公司
主分类号: H01J41/20 分类号: H01J41/20
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)32257 代理人: 李广
地址: 100000*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种离子泵,尤其涉及一种轻量化大抽速离子泵,包括泵体,泵体上设有微型高压电极;泵体内设有阳极筒组件、阴极钛板和磁体部件,磁体部件由磁钢和导磁铁组成;泵体为钛合金泵体;磁钢为钕铁硼磁钢;导磁铁整体呈矩形框,由两个U形钢板拼接而成,每个U形钢板都是由一底板和位于所述底板两侧的翼板一体成型,从每个翼板的转角处那端到该翼板另一端的厚度逐渐减小;泵体的后侧设置有一个方条,方条的中心与阳极筒组件焊接,方条的两侧焊接凸耳;微型高压电极采用YV2TJ电连接器和GFK‑10KV‑26导线,经过优化设计,本发明的离子泵可以达到现有离子泵的抽速,而重量仅为3KG。
搜索关键词: 量化 大抽速 离子
【主权项】:
轻量化大抽速离子泵,包括泵体,泵体上设有微型高压电极;泵体内设有阳极筒组件、阴极钛板和磁体部件,磁体部件由磁钢和导磁槽钢组成;其特征在于:所述泵体为钛合金泵体;所述磁钢为钕铁硼磁钢;所述导磁槽钢整体呈矩形框,由两个U形钢板拼接而成,每个U形钢板都是由一底板和位于所述底板两侧的翼板一体成型,从每个翼板的转角处那端到该翼板另一端的厚度逐渐减小;所述泵体的后侧设置有一个方条,方条的中心与阳极筒组件焊接,方条的两侧焊接凸耳。
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