[发明专利]具有恒定电容的MEMS器件有效
| 申请号： | 201510083334.4 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN104851753B | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | C·F·李;R·C·格金;P·L·菲兹格拉德 | 申请（专利权）人： | 亚德诺半导体集团 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 申发振 |
| 地址： | 百慕大群岛(*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种MEMS设备具有衬底、输入节点、输出节点以及处于输入节点和输出节点之间的MEMS开关。所述开关对输入节点和输出节点进行有选择地连接，在所述开关断开时所述输入节点和输出节点电隔离。所述设备还具有处于衬底内的输入掺杂区域和处于衬底内的输出掺杂区域。所述输入掺杂区域和输出掺杂区域通过衬底电隔离，即，它们之间的电阻遏制了两个掺杂区域之间的不可忽略的电流的流动。所述输入掺杂区域与输入节点形成了输入电容，而所述输出掺杂区域与输出节点形成了输出电容。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 恒定 电容 mems 器件 | ||
【主权项】：
一种MEMS设备，包括：衬底；输入节点；输出节点；所述输入节点和所述输出节点之间的MEMS开关，所述开关有选择地连接所述输入节点和所述输出节点，在所述开关断开时，所述输入节点和所述输出节点电隔离；以及处于所述衬底内的输入掺杂区域以及处于所述衬底内的输出掺杂区域，所述输入掺杂区域和所述输出掺杂区域通过所述衬底电隔离，所述输入掺杂区域与所述输入节点形成输入电容，所述输出掺杂区域与所述输出节点形成输出电容。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚德诺半导体集团，未经亚德诺半导体集团许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510083334.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
