[发明专利]高度位置检测装置

摘要

本发明提供高度位置检测装置，其能够正确地检测被保持于被加工物保持构件上的半导体晶片等被加工物中的被设定的区域的高度位置。检测被保持于卡盘工作台上的被加工物的高度位置的高度位置检测装置包括：单模光纤，其传送由被加工物反射且被光纤耦合器分路的返回光；受光元件，其接收从单模光纤发出的返回光且输出与接收到的光的强度对应的信号；以及控制构件，其具有用于保存设定了波长与高度的关系的表格的存储器。控制构件求出与法布里‑珀罗可调谐滤波器扫描单一波长的光的规定的周期同步地由受光元件接收的单一波长的光的波长，且对照波长与表格中记录的波长和高度，由此求出被保持于卡盘工作台上的被加工物的高度位置。

主权项

1.一种高度位置检测装置，其特征在于，该高度位置检测装置具备：保持被加工物的被加工物保持构件；检测被保持于该被加工物保持构件上的被加工物的高度位置的高度位置检测构件；以及使该被加工物保持构件与该高度位置检测构件相对地移动的移动构件，该高度位置检测构件具备：光源，其具有规定的波段；第1单模光纤，其传送从该光源发出的光；光纤耦合器，其与该第1单模光纤连结；法布里‑珀罗可调谐滤波器，其在该光源与该光纤耦合器之间与该第1单模光纤连结，且根据该波段以规定的周期依次扫描单一波长的光并传送该单一波长的光；色差透镜，其对从该法布里‑珀罗可调谐滤波器发出的单一波长的光进行聚光且向被保持于该被加工物保持构件上的被加工物照射；第2单模光纤，其传送由被加工物反射且经由该色差透镜被该光纤耦合器分路的返回光；受光元件，其接收从该第2单模光纤发出的返回光且输出与接收到的光的强度对应的信号；以及控制构件，其具有保存表格的存储器，该表格中设定了波长与高度的关系，该控制构件求出如下的单一波长的光的波长，该单一波长的光是与该法布里‑珀罗可调谐滤波器扫描单一波长的光的规定的周期同步地由该受光元件接收到的光，并且该控制构件对照该波长与该表格中记录的波长和高度，由此求出被保持于该被加工物保持构件上的被加工物的高度位置。