[发明专利]有机电子装置的光刻法图案化有效
申请号: | 201580053516.5 | 申请日: | 2015-07-31 |
公开(公告)号: | CN107112418B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 约翰·安德鲁·德弗兰科;特伦斯·罗伯特·欧图尔 | 申请(专利权)人: | 正交公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;G03F7/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 蔡胜有;高世豪 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种将有机装置图案化的方法,包括:在装置基底上沉积第一有机功能层以形成第一中间结构,所述第一有机功能层具有第一功能如空穴传输或电子传输。所述第一中间结构经含氟聚合物涂覆并在包含氟化溶剂的处理剂中经受处理以形成经处理的中间结构,在所述氟化溶剂中所述含氟聚合物是可溶的。在所述第一有机功能层的至少一部分上沉积第二有机功能层,所述第二有机功能层也具有所述第一功能。 | ||
搜索关键词: | 有机 电子 装置 光刻 图案 | ||
【主权项】:
一种将有机装置图案化的方法,包括:a)在装置基底上沉积第一有机功能层以形成第一中间结构,所述第一有机功能层具有第一功能;b)处理所述第一中间结构以形成经处理的第一中间结构,其中所述处理包括在所述第一中间结构上涂覆含氟聚合物并随后将所述含氟聚合物溶解在包含氟化溶剂的处理剂中;以及c)在所述第一有机功能层的至少一部分上沉积第二有机功能层,所述第二有机功能层也具有所述第一功能。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于正交公司,未经正交公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201580053516.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:有机电子装置的光刻法图案化
- 下一篇:有机发光二极管
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择