[发明专利]一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔在审
| 申请号： | 201610024358.7 | 申请日： | 2016-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN105548015A | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 徐杨兵;候玉斌;盛志高 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | G01N21/03 | 分类号： | G01N21/03;G01N21/15 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接。本发明适合在小口径长距离条件中运用，产生高真空环境，可以供光学探测材料光学性质使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 孔径 长距离 光学 兼容 真空 样品 | ||
【主权项】：
一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，其特征在于：包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接。
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