[实用新型]整流板有效
| 申请号： | 201620241726.9 | 申请日： | 2016-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN205856605U | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于外延生长装置的腔室部件。反应腔室由顶板来界定和形成。反应气体在侧壁中所设置的反应气体供应路径中整流，使得在所述反应腔室中的所述反应气体的流动方向上的水平分量对应于从所述反应气体供应路径的开口的中心延伸的方向上的水平分量。对所述外延生长装置的上侧壁、基座和整流板的改进已使得提高了基板上形成的外延层的均匀性和形成速度，从而使得产量更高并且缺陷更少。 | ||
| 搜索关键词： | 整流 | ||
【主权项】：
一种整流板，所述整流板包括：伸长主体，所述伸长主体包括第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面；多个通孔，所述多个通孔从所述第一表面延伸至所述第二表面并被分配成至少三组；以及紧固件孔，所述紧固件孔设置在所述至少三组中的相邻的组之间，并且所述紧固件孔从所述第一表面延伸至所述第二表面。
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