[实用新型]具有多量程的微电容参比测量电路有效
| 申请号： | 201620615022.3 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN205880061U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京国林贸知识产权代理有限公司11001 | 代理人： | 李桂玲,杜国庆 |
| 地址： | 100070 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了具有多量程的微电容参比测量电路，包括被测电容电路以及多个参比电容测量电路。激励电压信号从此公共端接入测量电路，各个电容的电流通过其对应的运算放大器及反馈电路转换为各自的电压信号，进而测量被测电容电路以及某一个参比测量电路的输出电压信号比值得到被测电容的电容量，由此通过将参比电容设置为不同的电容量以及控制被测电容电路对应的反馈电路实现多个测量量程，从而扩展了微电容参比测量电路的测量范围，通过多量程设置的不同的参比电容与被测电容结构的比较，提高了被测电容的精度。该电路应用于模拟集成电路测试系统、数字集成电路测试系统、混合集成电路测试系统以及半导体分立器件测试系统中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多量 电容 测量 电路 | ||
【主权项】：
具有多量程的微电容参比测量电路，其特征在于，所述多量程的微电容参比测量电路包括多路参比电容测试电路和一路被测电容测试电路，所述参比电容测试电路由运算放大器、参比电容和反馈阻抗组成，多路参比电容的电容值各不相同，参比电容的一端连接在运算放大器的反相输入端，运算放大器的同相输入端与地连接，反馈阻抗跨接在运算放大器反相输入端和运算放大器输出端之间；所述被测电容测试电路包括运算放大器、被测电容和与多路参比电容测试电路路数相同的反馈阻抗、以及多路控制开关，被测电容的一端连接在运算放大器的反相输入端，运算放大器的同相输入端与地连接，反馈阻抗与控制开关连接跨接在运算放大器反相输入端和运算放大器输出端之间，一个激励电压信号同时与多路参比电容另一端以及被测电容另一端连接，一个电压测量电路选择性的分别与多路参比电容测试电路的输出以及被测电容测试电路的输出端连接。
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