[发明专利]一种硅片加热扩散炉有效
| 申请号： | 201711080092.9 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107604444B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 赵阿强 | 申请（专利权）人： | 重庆长捷电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/02 | 分类号： | C30B31/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人： | 贾庆 |
| 地址： | 409100 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片加热扩散炉，包括炉体和设置于炉体内的多根炉管，炉体上设有控制柜，炉管相互间隔的横向装设于炉体内，且炉管的两端设为炉口和炉尾，且炉口和炉尾于炉体上设有炉门。炉管的炉口、炉尾和炉管的中部分别设有加热元件，炉管内设有石英层，且炉管的炉口和炉尾的外表面分别套设有石棉垫和石棉圈，控制柜实时监控和控制炉体内的温度。本发明的炉口和炉尾的外表面分别套设有石棉垫和石棉圈，进而可达到对炉口和炉尾保温的作用，防止其散热导致炉口、炉尾和炉管的中部三点温度不一致影响产品质量，因此，本发明采用上述结构不仅可以保证产品质量，还可以防止炉口和炉尾因散热导致炉门处温度过高导致变形的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 加热 扩散 | ||
【主权项】：
一种硅片加热扩散炉，其特征在于：包括炉体(1)和设置于炉体(1)内的多根炉管(2)，所述炉体(1)上设有控制柜(3)，所述炉管(2)相互间隔的横向装设于所述炉体(1)内，且炉管(2)的两端设为炉口(2a)和炉尾(2b)，且所述炉口(2a)和炉尾(2b)于所述炉体(1)上设有炉门(4)，所述炉管(2)的炉口(2a)、炉尾(2b)和炉管(2)的中部分别设有加热元件(5)，所述炉管(2)内设有石英层(6)，且炉管(2)的炉口(2a)和炉尾(2b)的外表面分别套设有石棉垫(7)和石棉圈(8)，所述控制柜(3)实时监控和控制炉体(1)内的温度。
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