[发明专利]一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法

摘要

本发明提供了一种在无立式干涉仪条件下，球面镜面型受自重影响较大时，进行准确检测面型的方法，通过45°平面反射镜折转光路，消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。本发明有效保证测试数据的准确性，降低科研成本，所使用工装仪器均为常用仪器，成本低，效率高。

主权项

1.一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：打开卧式干涉仪测试软件，在卧式干涉仪前端安装测试标准镜头；步骤2：校正标准镜头光束中心；步骤3：将用于固定待测球面镜的支撑工装置于可前后左右平移、上下升降的调整机构上；步骤4：将平面发射镜置于支撑工装上，前后移动调整调整机构，使标准镜头光束能够会聚于平面发射镜上；步骤5：将待测球面镜置于支撑工装上，位于平面发射镜的正上方，距平面发射镜的距离为待测球面镜的曲率半径R；步骤6：调整平面发射镜角度，使标准镜头光束经过平面发射镜和待测球面镜后能够返回并出现在卧式干涉仪的测试界面中；步骤7：固定平面发射镜角度，在前后、左右、上下三个方向移动调整机构，并带动待测球面镜和待测球面镜整体移动；通过在卧式干涉仪的测试界面观察发射光束的反射像，使卧式干涉仪发射的光束经平面发射镜和待测球面镜后能够原路返回，满足测试条件；步骤8：固定调整机构位置，通过卧式干涉仪测试软件进行待测球面镜面型检测。