[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 201780075492.2 | 申请日: | 2017-12-05 |
公开(公告)号: | CN110036269B | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | T.阿诺德;P.戈吉洛特;P.德尔雅卡 | 申请(专利权)人: | 梅斯瑞士公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00;G01L19/14 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈茜 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种压力传感器,包括具有第一壳体的基板,所述第一壳体限定布置在其上的气体填充内部腔体。弹性密封元件附接到第一壳体的自由端并且大致覆盖内部腔体的开口端以用于相对于外部环境密封内部腔体。弹性密封元件的一部分配置为响应于作用在其上的压力而可移动。半导体晶片布置在基板上并且限定压力传感膜片,所述压力传感膜片暴露于占据内部腔体的气体。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
1.一种压力传感器,包括:基板;第一壳体,限定布置在基板上的气体填充的内部腔体;弹性密封元件,附接到所述第一壳体的第一端并且大致覆盖所述内部腔体的开口端以用于相对于外部环境密封所述内部腔体,其中,弹性密封元件的一部分配置为响应于作用在其上的压力而可移动;以及半导体晶片,布置在所述基板上并且限定压力传感膜片,所述压力传感膜片暴露于占据所述内部腔体的气体。
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