[发明专利]电子级多晶硅的制备方法有效
申请号: | 201810230520.X | 申请日: | 2018-03-20 |
公开(公告)号: | CN108467042B | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 严大洲;杨永亮;万烨;汤传斌;张升学;姜利霞;石何武;张志刚;赵雄 | 申请(专利权)人: | 中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 韩建伟;谢湘宁 |
地址: | 100038*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种电子级多晶硅的制备方法。该制备方法包括:将三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行提纯,得到三氯氢硅,氯硅烷液体包括三氯氢硅;及采用氢气与三氯氢硅进行还原反应,得到电子级多晶硅,提纯步骤包括:对三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行第一精馏过程,得到三氯氢硅粗产品;将三氯氢硅粗产品与络合剂发生络合反应,以使三氯氢硅粗产品中的杂质转化为络合物,得到中间产物,其中杂质包括B、P和Fe、Al组成的组中的一种或多种;及将中间产物进行第二精馏过程,以去除络合物,得到三氯氢硅。将纯度较高的三氯氢硅原料与氢气发生还原反应,得到电子级多晶硅。上述制备方法的工艺流程成熟简单,具有能耗低、产品质量稳定等优点。 | ||
搜索关键词: | 三氯氢硅 电子级多晶硅 制备 氯硅烷液体 粗产品 三氯氢硅液体 还原反应 络合物 提纯 精馏 络合反应 氢气发生 质量稳定 氢气 工艺流程 络合剂 去除 能耗 成熟 转化 | ||
【主权项】:
1.一种电子级多晶硅的制备方法,包括:/n将三氯氢硅液体和/或氯硅烷液体进行提纯,得到三氯氢硅,所述氯硅烷液体包括三氯氢硅;及/n采用氢气与所述三氯氢硅进行还原反应,得到所述电子级多晶硅,/n其特征在于,所述提纯步骤包括:/n对所述三氯氢硅液体和/或所述氯硅烷液体进行第一精馏过程,得到三氯氢硅粗产品;/n将所述三氯氢硅粗产品与络合剂发生络合反应,以使所述三氯氢硅粗产品中的杂质转化为络合物,得到中间产物,其中所述杂质包括B、P和Fe、Al组成的组中的一种或多种,所述络合剂选自三苯基氯甲烷或三苯基氯甲烷和芳香醛的混合物;及/n将所述中间产物进行第二精馏过程,以去除所述络合物,得到所述三氯氢硅;/n所述还原反应的产物还包括还原尾气,所述制备方法还包括将所述还原尾气进行回收的步骤,所述回收步骤包括:/n将所述还原尾气进行冷凝,得到粗氢气和吸附有氯化氢的氯硅烷液体,所述冷凝的温度为-50~-30℃;/n采用活性炭对所述粗氢气进行第一次吸附,得到一级净化物;其中所述活性炭的比表面积为400~800m
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