[发明专利]一种应用于扫描探针显微镜的传感器有效
| 申请号： | 201810292818.3 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN108693383B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 彭平;兰永强 | 申请（专利权）人： | 三明学院 |
| 主分类号： | G01Q30/00 | 分类号： | G01Q30/00 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 郭福利;魏思凡 |
| 地址： | 365000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于扫描探针显微镜的传感器，包含：底座、位于底座上侧的绝缘承载层、位于绝缘承载层上的第一石英晶振、第二石英晶振、以及探针；第二石英晶振的基座部配置于第一石英晶振的第一叉脚上，探针配置于第二石英晶振的第一叉脚上；第一石英晶振和第二石英晶振两者各叉脚的延伸方向相同，且两者的谐振频率不同。本发明的传感器具有结构简单的优点，且本发明的传感器具有多频原位激发/检测功能，因此具有更高的灵敏度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 扫描 探针 显微镜 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种应用于扫描探针显微镜的传感器，其特征在于，包含：底座(1)、可拆卸地配置于底座(1)上侧的绝缘承载层(2)、位于绝缘承载层(2)上的第一石英晶振(3)、第二石英晶振(4)、以及探针(5)；第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)和第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)上下相对设置，第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)和第二石英晶振(4)的第二叉脚(9)上下相对设置，且第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)、第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)、第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)和第二石英晶振(4)的第二叉脚(9)沿同一方向延伸；第一石英晶振(3)的第二叉脚(7)配置于绝缘承载层(2)上，第二石英晶振(4)的基座部配置于第一石英晶振(3)的第一叉脚(6)上，探针(5)配置于第二石英晶振(4)的第一叉脚(8)上；第一石英晶振(3)和第二石英晶振(4)两者的谐振频率不同，且第一石英晶振(3)的两接线端分别对应电连接于第二石英晶振(4)的两接线端。
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- 王增;郭强;付连宇 - 深圳市金洲精工科技股份有限公司
- 2015-12-09 - 2016-03-16 - G01Q30/00
- 本发明适用于砂轮检测技术领域，公开了一种砂轮检测装置和砂轮检测方法。砂轮检测装置包括砂轮轴、砂轮轴连接架和固定座，砂轮轴的一端为穿入砂轮中心孔的连接端，所述砂轮轴的另一端可调节式转动连接于所述砂轮轴连接架一端的一侧；砂轮轴连接架的另一端可调节式转动连接于固定座，砂轮轴连接有旋转摇柄，旋转摇柄与所述砂轮轴的旋转中心轴线相互垂直。砂轮检测方法采用上述的砂轮检测装置。本发明所提供的砂轮检测装置和砂轮检测方法，可以很方便地将砂轮的任意一面的任意位置调整至显微设备的镜头前，无需对砂轮进行破坏也可以对砂轮进行任意局部检测，且整个检测过程简单易行，检测成本低，且可以有效地跟踪砂轮的加工效果。
- 一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置-201420713051.4
- 韩雄;钱锋;王矛宏;罗力 - 苏州飞时曼精密仪器有限公司
- 2014-11-24 - 2015-04-22 - G01Q30/00
- 本实用新型公开了一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，包括底座，底座上设有样品台，样品台上端均匀设有若干固定架，固定架上端设有扫描探头，扫描探头内部设有与探针相匹配的探针架，样品台设置于探针架的前端，样品台内部设有可进行三维移动的样品移动装置，样品移动装置内设有扫描器，扫描器设置连接有位于样品移动装置内的Z向移动导轨，样品移动装置设有控制装置。本实用新型的有益效果为：结构简单，容易操作，通过将扫描探头与样品台的结构一体化，使得两者之间结构回路缩短，有效降低了探针与样品之间的机械噪音，提高了仪器的精度和抗干扰性；另外在样品趋近时，样品能够完全垂直的接近探针，实现了对样品扫描区域的精确定位。
- 一种扫描探针显微镜的专用样品台-201420550350.0
- 屈泽华 - 复旦大学
- 2014-09-24 - 2015-03-04 - G01Q30/00
- 本实用新型属于实验设备技术领域，具体为一种扫描探针显微镜的专用样品台，它的底座是基台，上方是一个夹具体，夹具体可为圆形、方形、多边形环状，夹具体一端固定于基台上，另一端可滑动，两端连接处一端用固定螺栓定位，另一端用连杆螺栓连接。同时夹具上方带有边框。本样品台可以固定无法用双面胶固定的样品，保证样品固定不动和样品不变型，从而达到可以用扫描探针显微镜测试样品的目的。
- 一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置及方法-201410682303.6
- 韩雄;钱锋;王矛宏;罗力 - 苏州飞时曼精密仪器有限公司
- 2014-11-24 - 2015-02-25 - G01Q30/00
- 本发明公开了一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，包括底座，底座上设有样品台，样品台上端均匀设有若干固定架，固定架上端设有扫描探头，扫描探头内部设有与探针相匹配的探针架，样品台设置于探针架的前端，样品台内部设有可进行三维移动的样品移动装置，样品移动装置内设有扫描器，扫描器设置连接有位于样品移动装置内的Z向移动导轨，样品移动装置设有控制装置。本发明的有益效果为：本装置结构简单，容易操作，通过将扫描探头与样品台的结构一体化，使得两者之间结构回路缩短，有效降低了探针与样品之间的机械噪音，提高了仪器的精度和抗干扰性；另外在样品趋近时，样品能够完全垂直的接近探针，实现了对样品扫描区域的精确定位。
- 电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法-201210492775.6
- 詹东平;韩联欢;袁野;胡振江;曹永智;赵学森;闫永达;田中群 - 厦门大学;哈尔滨工业大学
- 2012-11-27 - 2014-06-04 - G01Q30/00
- 本发明提供了一种电化学体系中工件的水平检测装置、调平装置及调平方法。该水平检测装置包括：宏微位移平台；位移台，固设于宏微位移平台确定的X-Y平面上，可在该X-Y平面上进行位移，电解池与该位移台相对静止；探针电极，固设于宏微位移平台确定的Z方向上，其检测端浸入垂直向下进入电解池内的电解液中，距离电解池内的工件预设距离；以及电化学工作站，其工作电极连接至探针电极，其辅助电极和参比电极均连接浸入电解池内的电解液中，控制工作电极电位恒定，检测该工作电极随位移台的运动而变化的电流信号，获得电流信号曲线，由电流信号曲线的起伏幅度获知电解池内工件的倾斜程度。本发明可提高电解液中工件水平检测的精度。
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