[发明专利]具有微结构的器件及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201810404729.3 申请日: 2018-04-28
公开(公告)号: CN110407157A 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 李守军;夏振 申请(专利权)人: 张家港康得新石墨烯应用科技有限公司
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81B1/00;B82Y40/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 韩建伟;霍文娟
地址: 215634 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请提供了一种具有微结构的器件及其制作方法。该制作方法包括:步骤S1,在基底上设置气溶胶态、悬浮的液滴态和/或气态的光固化树脂,形成光固化树脂层;步骤S2,按照预定图案对光固化树脂进行固化;步骤S3,去除未固化的光固化树脂,固化的光固化树脂形成微结构。该制作方法中,由于未固化的光固化树脂为气态、悬浮的液滴态和/或气溶胶态,所以,无需进行刻蚀就能去除,过程简单,且避免了采用刻蚀法产生对环境有害的污水的问题,且去除的未固化的气态、悬浮的液滴态和/或气溶胶态的光固化树脂可以回收利用,产品利用率比较高。
搜索关键词: 光固化树脂 气溶胶态 微结构 未固化 液滴 去除 悬浮 制作 刻蚀 固化 光固化树脂层 产品利用率 固化树脂 回收利用 预定图案 基底 污水 申请
【主权项】:
1.一种具有微结构的器件的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:步骤S1,在基底(10)上设置气溶胶态、悬浮的液滴态和/或气态的光固化树脂,形成光固化树脂层(20);步骤S2,按照预定图案对所述光固化树脂进行固化;以及步骤S3,去除未固化的所述光固化树脂,固化的所述光固化树脂形成微结构(21)。
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