[发明专利]具有SPAD阵列和距离走动补偿的距离测量装置

摘要

具有SPAD阵列和距离走动补偿的距离测量装置。本发明涉及一种距离测量装置，该距离测量装置包括用于以非常高的动态范围和距离走动补偿进行高度准确距离测量的传感器，所述传感器借助于单光子雪崩光电二极管的阵列来设置。

主权项

1.一种用于确定到目标(5)的距离的距离测量装置(1)，所述距离测量装置特别用于手持距离测量仪器、激光跟踪器、视距仪、激光扫描仪、LIDAR测量仪器或剖面仪中，所述距离测量装置包括：·辐射源(2、16)，所述辐射源用于生成发送辐射，特别是脉冲式激光测量辐射或超发光LED辐射，·发送路径，所述发送路径用于向所述目标(5)发射所述发送辐射的至少一部分(4、17)，·接收路径，所述接收路径包括被配置用于基于所述发送辐射的从所述目标返回的至少一部分检测接收信号(14、14’)的接收器(3)，以及·计算单元(28)，所述计算单元被配置用于基于所述接收信号(14、14’)导出到所述目标的所述距离，其特征在于·所述接收器(3)包括用于检测所述接收信号(14、14’)的基于单光子雪崩光电二极管的阵列(18、18A、18B、18’)的光电子传感器，所述阵列(18、18A、18B、18’)下文中被称为SPAD阵列，·所述计算单元(28)被配置为基于所述接收信号(14、14’)导出签名参数，其中，与所述接收信号(14、14’)的信号轮廓的签名有关的信息与所述签名参数关联，特别是其中，与所述SPAD阵列的微区的特性曲线特定触发有关的信息与所述签名关联，其中·此外，在所述计算单元(28)上，特别是作为函数或查找表(29)存储与距离偏移有关的距离校正信息，所述距离偏移在导出所述距离时发生并且取决于所述接收信号(14、14’)的所述信号轮廓，并且·所述计算单元(28)基于所导出的签名参数和所述距离校正信息在导出所述距离时考虑距离偏移。