[发明专利]一种金属氧化物叠层场效应材料及其应用有效
| 申请号： | 201810695653.4 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN108878512B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 吕正红;张涛;王登科 | 申请（专利权）人： | 云南大学 |
| 主分类号： | H01L29/267 | 分类号： | H01L29/267;H01L51/05;B82Y10/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 650000 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种金属氧化物叠层场效应材料。本发明提供的金属氧化物叠层场效应材料将带隙不同的金属氧化物形成异质结，并限定带隙差(ΔE)≥1eV，异质结界面处产生能带弯曲，在带隙较大的一侧形成势垒，在带隙较小的一侧形成三角势阱，在栅极电场的诱导下，在异质结界面上产生极化电荷，并聚集大量的载流子。因此，本发明提供的金属氧化物叠层场效应材料具有高的载流子迁移率，高于10 |
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| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 场效应 材料 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种金属氧化物叠层场效应材料，具有夹芯结构，依次包括第一表层、芯层和第二表层，所述芯层为宽带隙金属氧化物层，所述第一表层和第二表层为窄带隙金属氧化物层；其中，所述芯层中金属氧化物的带隙≥3eV，所述第一表层和第二表层中金属氧化物的带隙独立地≤3eV，所述芯层中金属氧化物的带隙与所述第一表层中金属氧化物的带隙的差值≥1eV。
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