[发明专利]一种扩散炉工艺自诊断优化方法及装置在审
申请号: | 201810812242.9 | 申请日: | 2018-07-23 |
公开(公告)号: | CN108914208A | 公开(公告)日: | 2018-11-30 |
发明(设计)人: | 汪已琳;任哲;舒勇东 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | C30B31/18 | 分类号: | C30B31/18;C30B29/06 |
代理公司: | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人: | 周长清;廖元宝 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种扩散炉工艺自诊断优化方法,包括以下步骤:S01、对硅片进行扩散工艺后的数据进行检测;S02、将检测数据与预设标准阈值进行对比,并根据对比结果自动优化下一次硅片扩散工艺参数。本发明还相应公开了一种扩散炉工艺自诊断优化装置,包括第一模块,用于对硅片进行扩散工艺后的数据进行检测;以及第二模块,用于将检测数据与预设标准阈值进行对比,并根据对比结果自动优化下一次硅片扩散工艺参数。本发明的扩散炉工艺自诊断优化方法及装置均具有自动化程度高、提高生产效率以及产品质量等优点。 | ||
搜索关键词: | 扩散炉 自诊断 对比结果 硅片扩散 检测数据 扩散工艺 预设标准 自动优化 硅片 优化 第一模块 生产效率 优化装置 检测 自动化 | ||
【主权项】:
1.一种扩散炉工艺自诊断优化方法,其特征在于,包括以下步骤:S01、对硅片进行扩散工艺后的数据进行检测;S02、将检测数据与预设标准阈值进行对比,并根据对比结果自动优化下一次硅片扩散工艺参数。
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