[发明专利]一种透明柔性湿度传感器及其制备方法有效
申请号: | 201810957940.8 | 申请日: | 2018-08-22 |
公开(公告)号: | CN109085204B | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
发明(设计)人: | 杨燕;赵健雄;陈霞 | 申请(专利权)人: | 成都信息工程大学 |
主分类号: | G01N27/04 | 分类号: | G01N27/04 |
代理公司: | 北京元本知识产权代理事务所(普通合伙) 11308 | 代理人: | 常桑 |
地址: | 610225 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供了一种透明柔性湿度传感器及其制备方法,包括:柔性衬底、柔性导电薄膜、共面波导谐振电路以及湿度敏感柔性薄膜。其中:柔性衬底具有高的光透过率以及可弯曲、拉伸等特点;所述的柔性导电薄膜具有低的方块电阻和高的光透过率的物理特性,所述的湿度敏感柔性薄膜均匀地旋涂于柔性导电薄膜表面,其特征在于:柔性衬底与柔性导电薄膜形成一个可弯曲、拉伸,低损耗以及具有高光透过率的谐振电路,湿度敏感柔性薄膜作为所述谐振电路谐振频率的一个调控单元。本发明所述透明柔性湿度传感器具有柔性可拉伸、高透明度、成本低廉、制备简单、高灵敏性的优势,可广泛应用于可穿戴电子器件、柔性电子以及作为“电子皮肤”等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 柔性 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种透明柔性湿度传感器,包括:透明柔性衬底(1),柔性导电薄膜(2),共面波导谐振电路(3),以及湿度敏感柔性薄膜(4);其中:所述透明柔性衬底由PDMS制成,透明柔性衬底(1)的顶面设有氧化铟锡(ITO)导电薄膜(2),共面波导谐振电路(3)通过激光刻蚀导电薄膜而成,ITO导电薄膜(2)表面有一层湿度敏感柔性薄膜(4),该薄膜通过旋涂聚乙烯醇(PVA)和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)混合溶液烘干制备而成;连接微波电路时,将同轴线的插座安装在接地板的背面,外导体直接接在接地板上,同轴线的内导体即同轴探针穿过接地板和透明柔性衬底(1)接在导电薄膜(2)上;所述柔性衬底与柔性导电薄膜形成一个可弯曲、拉伸,低损耗以及具有高光透过率的谐振电路,湿度敏感柔性薄膜作为所述谐振电路谐振频率的一个调控单元。
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