[发明专利]光检测装置有效

专利信息
申请号: 201811132089.1 申请日: 2018-09-27
公开(公告)号: CN109659300B 公开(公告)日: 2023-10-17
发明(设计)人: 井上直;小池亮介;中山晴幸 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: H01L25/16 分类号: H01L25/16;H01L31/0216
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 光检测装置具备背面入射型的受光元件、电路元件、连接部件、底部填料、遮光掩模。遮光掩模具有形成有开口的框体和设置于开口的内面的遮光层。开口的电路元件侧的第一开口边缘位于受光元件的外缘的外侧。开口的与电路元件相反侧的第二开口边缘位于受光元件的外缘的内侧。开口从第一开口边缘朝向第二开口边缘缩小。框体的宽度从第一开口边缘朝向第二开口边缘扩大。底部填料到达受光元件和遮光层之间。
搜索关键词: 检测 装置
【主权项】:
1.一种光检测装置,其中,具备:背面入射型的受光元件,其具有多个受光部;电路元件;连接部件,其配置于所述受光元件和所述电路元件之间,将所述受光元件和所述电路元件电连接且物理连接;底部填料,其配置于所述受光元件和所述电路元件之间;和框状的遮光掩模,其以在从光相对于所述受光元件的入射方向观察的情况下包围所述受光元件的方式配置于所述电路元件上,所述遮光掩模具有:在内侧形成有所述受光元件所位于的开口的框体;和设置于所述开口的内面的遮光层,所述开口的所述电路元件侧的第一开口边缘在从所述入射方向观察的情况下位于所述受光元件的外缘的外侧,所述开口的与所述电路元件相反侧的第二开口边缘在从所述入射方向观察的情况下位于所述受光元件的所述外缘的内侧,所述开口从所述第一开口边缘朝向所述第二开口边缘缩小,所述框体的宽度从所述第一开口边缘朝向所述第二开口边缘扩大,所述底部填料到达所述受光元件和设置于所述开口的所述内面的所述遮光层之间。
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