[发明专利]绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法有效
| 申请号： | 201811418885.1 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109524551B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 杨冠军;李小磊;刘梅军;李臻;高黎黎;李长久;李成新 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42;H01L51/48 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法，包括：第一步，钙钛矿液膜的均匀涂覆；第二步，仿形钙钛矿液膜的快速干燥：采用多流气刀的5～20个气流通道完成对仿形钙钛矿液膜的干燥；第三步，钙钛矿液膜的热气退火处理：采用多流气刀30～50个气流通道，以温度为80～160℃的气体对钙钛矿薄膜进行10～30min的热处理，去除残余溶剂并使晶粒长大，得到全覆盖仿金字塔形的绒面均匀钙钛矿薄膜。本发明在不对硅金字塔绒面进行抛光磨平处理的条件下，采用溶液沉积法实现了在微米尺度起伏的金字塔绒面基底上全覆盖均匀仿形钙钛矿薄膜的制备，保持了硅太阳能电池高效率的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 钙钛矿膜 液膜速涂气刀速干法抑爬 原位 连续 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.绒面均匀钙钛矿膜的液膜速涂气刀速干法抑爬原位析晶连续制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，钙钛矿液膜的均匀涂覆：将钙钛矿前驱体溶胶或溶液涂覆在具有金字塔绒面形貌的基底上，形成一层均匀仿形钙钛矿液膜；第二步，仿形钙钛矿液膜的快速干燥：采用多流气刀的5～20个气流通道完成对仿形钙钛矿液膜的干燥；第三步，钙钛矿液膜的热气退火处理：采用多流气刀30～50个气流通道，以温度为80～160℃的气体对钙钛矿薄膜进行10～30min的热处理，去除残余溶剂并使晶粒长大，得到全覆盖仿金字塔形的绒面均匀钙钛矿薄膜。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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