[实用新型]一种复合量程气压传感器和高精度探空气压测量装置有效
| 申请号： | 201820545333.6 | 申请日： | 2018-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN208109322U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张加宏;王银;冒晓莉;陈虎 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08;G01L9/06;G01L19/06;G08C17/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 朱桢荣 |
| 地址： | 210044 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种复合量程气压传感器，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥。本实用新型还公开了一种高精度探空气压测量装置，本实用新型提高了传感器的可承受最大压力，由于使用了较厚的外膜，因此可以使用更薄的内膜片，从而实现了更高的灵敏度，有效的减小了数据测量误差，满足了高精度气压测量装置的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 内膜片 本实用新型 外膜片 传感器 二氧化硅层 气压传感器 测量装置 复合量程 应变薄膜 空气压 受力 绝缘 气压测量装置 惠斯通电桥 玻璃空腔 硅纳米线 内部气压 数据测量 外部气压 向上设置 压敏电阻 依次叠放 最大压力 玻璃基 灵敏度 上表面 减小 两级 两组 套嵌 外膜 | ||
【主权项】：
1.一种复合量程气压传感器，其特征在于，包括自下而上依次叠放的玻璃基底层、硅底层、绝缘二氧化硅层和玻璃空腔，硅底层底部向上设置有两级凹槽，凹槽上方设有内膜片和外膜片，外膜片比内膜片的厚度厚，内膜片为内部气压传感器的受力应变薄膜，外膜片为外部气压传感器的受力应变薄膜；绝缘二氧化硅层上表面放置了内外两组套嵌的由4个硅纳米线压敏电阻构成的惠斯通电桥，其中一组惠斯通电桥中的硅纳米线压敏电阻两两对称放置于内膜片四周，另一组惠斯通电桥中的硅纳米线压敏电阻两两对称放置于外膜片的四周。
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- 本实用新型公开了一种基于倒装焊芯片介质隔离型压力传感器，包括壳体和设于壳体内侧的陶瓷基板，所述壳体的底部设有可供介质进入的通孔；所述陶瓷基板的底部印刷有厚膜电路，所述厚膜电路的外侧还印刷有玻璃釉层；所述陶瓷基板的顶部固定有柔性电路板，所述厚膜电路位于所述玻璃釉层外侧的焊点通过边卡连接所述柔性电路板；所述陶瓷基板的底部还倒装焊接有MEMS压力敏感芯片；所述MEMS压力敏感芯片的底部及周边设置有填充层，所述填充层附着在所述MEMS压力敏感芯片四周；本实用新型的目的是提供一种能够耐受多种介质、应用范围广的基于倒装焊芯片介质隔离型压力传感器。
- 一种膜片紧固装置及包含所述膜片紧固装置的感应装置-201310118795.1
- 王乐;时延波;刘丹 - 费希尔久安输配设备(成都)有限公司
- 2013-03-20 - 2019-06-11 - G01L7/08
- 本发明涉及一种膜片紧固装置及包含所述膜片紧固装置的感应装置，所述膜片紧固装置包括上模块，下模块以及膜片，当所述膜片紧固装置处于装配状态时，所述膜片位于所述上模块和下模块之间，所述上模块包括上模块紧压面，所述上模块紧压面的面积小于所述下模块的上表面的面积。本发明的膜片紧固装置具有较精准的压力感应效果。
- 一种用于石油输送管道油压检测的智能压力变送器-201711244434.6
- 范青鹏 - 西安市永鑫科技有限公司
- 2017-11-30 - 2019-06-07 - G01L7/08
- 本发明公开了一种用于石油输送管道油压检测的智能压力变送器，包括压力变送器主体，压力变送器主体的底部设置有引压管，压力变送器主体的一侧安装有显示屏和控制按钮，压力变送器主体的顶部安装有警报器，压力变送器主体的内部安装有微处理器、压力传感器和温度传感器，压力传感器的内部设置有隔离膜片，隔离膜片上安装有压差传感器，温度传感器通过温度补偿电路与微处理器连接，微处理器分别与显示屏、控制按钮、警报器、压力传感器和压差传感器电控连接。该装置内设置有压差传感器，可通过对压力变送器内外压差的检测来判定其内部的隔离膜片是否受损泄漏；设置有温度传感器和，能检测外界温度，排除温度对压力检测的影响，增加检测精度。
- 一种液体压强测定演示装置-201821354008.8
- 李世豪 - 新昌县七星街道新洁成文化创意工作室
- 2018-08-22 - 2019-05-31 - G01L7/08
- 本实用新型提供了一种液体压强测定演示装置，包括底板；所述底板的右侧后部上表面竖直的连接固定右侧支板；所述右侧支板的前表面壁中刻有右侧刻度线，且其左侧通过胶水连接固定承载罐；所述橡胶卡板的右侧后部设有排水口；承载罐的左侧外壁中竖直的开有调整滑槽；所述第一磁铁设在承载罐的左侧外壁上，其右侧通过磁性吸附连接第二磁铁；所述第二磁铁活动放置在承载罐的左侧内壁上，其右侧水平的安装连接杆；所述连接杆的右端连接橡皮膜；所述立板连接固定在左侧支板的前表面；本实用新型结构较为简单，使用和操作方便，能通过直观明显的质量改变，为学生提供压强与液体质量无关与液面高度有关的信息，教学效果较强，适合推广。
- 一种用于离心铸造物理模拟的充型流体压力在线测量系统-201711106850.X
- 殷亚军;沈旭;计效园;郭钊;肖艮;李振涛;王志贤;周建新 - 华中科技大学
- 2017-11-10 - 2019-05-03 - G01L7/08
- 本发明属于离心铸造压力测量相关技术领域，其公开了一种用于离心铸造物理模拟的充型流体压力在线测量系统，其包括离心铸造物理模拟平台、多点薄膜压力传感组件、无线数据传输组件及终端，所述多点薄膜压力传感组件设置在所述离心铸造物理模拟平台上；所述离心铸造物理模拟平台用于模拟充型流体在离心铸造时的流动；所述多点薄膜压力传感组件用于实时跟踪测量所述充型流体在填充模具时的动压力，并将检测到的压力数据传输给所述无线数据传输组件；所述无线数据传输组件用于将接收到的所述压力数据传输给所述终端。该充型流体压力在线测量系统的结构简单，运行稳定，数据采集方便，操作适应性强。
- 一种管道式安装的卫生型压力变送器-201821067610.3
- 郝正宏;王徐坚;俞永和;李俊毅;李卫民 - 浙江洛丁森智能科技有限公司
- 2018-07-06 - 2019-05-03 - G01L7/08
- 本实用新型提供了一种管道式安装的卫生型压力变送器。所述卫生型压力变送器包括管道壳体、膜片和压力变送器，其中，所述管道壳体的外壁上设有导压孔；所述膜片紧贴在所述管道壳体的内壁上，并且，所述膜片的两端面分别与所述管道壳体的两端面密封连接；所述压力变送器的测压孔与所述管道壳体的导压孔密封固定连接且保持连通；所述管道壳体、所述膜片和所述压力变送器形成用于容纳充灌液的密封腔体，使得在流体流过所述管道壳体时所述膜片产生的形变力经由所述充灌液传递给所述压力变送器。本实用新型的卫生型压力变送器i)结构简单，易于安装；ii)节省空间和成本；iii)卫生安全。
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