[实用新型]制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置有效
| 申请号： | 201821412140.X | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN208787476U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 张磊;郭校亮;陈良杰;刘勋海 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | B22D11/04 | 分类号： | B22D11/04;B22D11/055;B22D11/14;B22D11/10 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具和装置，属于金属靶材的制备技术领域。所述水冷模具包括中心部分和外围部分，中心部分包括第一水冷盘，外围部分包括第二水冷盘，第二水冷盘设有第一通孔，所述第一通孔的孔径大于第一水冷盘的外径，第一水冷盘放置在第一通孔中，第一水冷盘外径和第一通孔内径之间的空间为储液区；所述外围部分和中心部分均设有冷却水通路。本实用新型适用于旋转靶的制备，可简化旋转靶制备的流程，提高生产效率，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷盘 通孔 制备 水冷 模具 难熔稀有金属 本实用新型 外围 旋转靶 制备技术领域 冷却水通路 金属靶材 生产效率 储液区 | ||
【主权项】：
1.一种制备旋转难熔稀有金属靶的水冷模具，其特征在于，包括中心部分和外围部分，中心部分包括第一水冷盘(1)，外围部分包括第二水冷盘(2)，第二水冷盘(2)设有第一通孔，所述第一通孔的孔径大于第一水冷盘(1)的外径，第一水冷盘(1)放置在第一通孔中，第一水冷盘(1)外径和第一通孔内径之间的空间为储液区(3)；所述外围部分和中心部分均设有冷却水通路(4)。
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