[实用新型]降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉有效
| 申请号： | 201821767857.6 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN209082035U | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 汪伟华 | 申请（专利权）人： | 浙江羿阳太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陆永强;张建 |
| 地址： | 313200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉，它解决了现有多晶硅铸锭炉氩气通入量高利用率低、成本高、铸锭品质差的问题，其包括炉体，炉体内设有隔热托板，隔热托板上设有环形保温罩，环形保温罩周向内侧设有坩埚，且环形保温罩周向外侧设有加热器，炉体上端设有氩气进气口，下端设有若干氩气出气口，环形保温罩上端封闭，炉体靠近氩气进气口的一端的直径大小至另一端的直径大小逐渐变小，且炉体周向内侧和环形保温罩周向外侧之间形成锥形送气通道，环形保温罩周向内侧和坩埚周向外侧之间设有呈圆锥筒状的布气通道，且环形保温罩上设有连通结构。本实用新型拥有氩气通入量低、成本低、铸锭品质好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 保温罩 炉体 多晶硅铸锭炉 氩气 本实用新型 氩气进气口 高纯氩气 隔热托板 铸锭 坩埚 加热器 布气通道 高利用率 连通结构 上端封闭 送气通道 圆锥筒状 逐渐变小 出气口 上端 下端 体内 | ||
【主权项】：
1.一种降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉，包括炉体(1)，所述的炉体(1)内通过若干支撑柱(2)设有水平设置的隔热托板(3)，所述的隔热托板(3)上设有呈环形设置的环形保温罩(4)，所述的环形保温罩(4)周向内侧设有设置在隔热托板(3)上的坩埚(5)，且所述的环形保温罩(4)周向外侧设有与坩埚(5)相对应的加热器(6)，所述的炉体(1)上端设有氩气进气口(11)，下端设有若干氩气出气口(12)，其特征在于，所述的环形保温罩(4)上端封闭，所述的炉体(1)靠近氩气进气口(11)的一端的直径大小至另一端的直径大小逐渐变小，且所述的炉体(1)周向内侧和环形保温罩(4)周向外侧之间形成圆锥筒状的送气通道(7)，且所述的送气通道(7)靠近氩气进气口(11)的一端的直径至另一端直径逐渐变小，所述的环形保温罩(4)周向内侧和坩埚(5)周向外侧之间设有呈圆锥筒状的布气通道(8)，且所述的布气通道(8)靠近氩气进气口(11)一端的直径至另一端直径逐渐变大，且所述的环形保温罩(4)上设有能将送气通道(7)和布气通道(8)相互连通的连通结构(9)。
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