[实用新型]一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置

摘要

本实用新型公开了一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，包括底座，所述底座上固定设有搅拌箱，所述搅拌箱下设有空腔一，所述搅拌箱的侧壁内开设有空腔二，所述空腔二内填充有导热介质，所述导热介质内设有若干加热棒，所述搅拌箱设有封盖，所述搅拌箱内设有凹槽，所述凹槽内设有转盘，所述转盘上固定设有立柱，所述立柱周围与所述转盘之间固定设有搅拌挡板，所述搅拌挡板远离所述立柱的一侧中部固定设有搅拌杆。有益效果：相较于普通的浸泡清洗，针对性的清洁，增加了清洗的洁净度和清洗效率。增加了去除有机污染物的力度。通过在空腔一内设有超声波发生器，使得搅拌箱内的硅片在经受搅拌清洗外，增加超声波清洗，双重清洗，进一步的增加清洗的力度。

主权项

1.一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上固定设有搅拌箱(2)，所述搅拌箱(2)下设有空腔一(3)，所述搅拌箱(2)的侧壁内开设有空腔二(4)，所述空腔二(4)内填充有导热介质(5)，所述导热介质(5)内设有若干加热棒(6)，所述搅拌箱(2)设有封盖(7)，所述搅拌箱(2)内设有凹槽(8)，所述凹槽(8)内设有转盘(9)，所述转盘(9)上固定设有立柱(10)，所述立柱(10)周围与所述转盘(9)之间固定设有搅拌挡板(11)，所述搅拌挡板(11)远离所述立柱(10)的一侧中部固定设有搅拌杆(12)，所述搅拌杆(12)贯穿所述搅拌箱(2)且，延伸至所述空腔一(3)内，所述搅拌杆(12)位于所述空腔一(3)内的一端固定设有第一皮带轮(13)，所述底座(1)的一侧固定设有正反电机(14)，所述正反电机(14)的输出端设有第二皮带轮(15)，所述第一皮带轮(13)与所述第二皮带轮(15)之间通过皮带(16)相连接，所述皮带(16)贯穿所述空腔一(3)，所述空腔一(3)内固定设有若干超声波发生器(17)，所述超声波发生器(17)的输出端设有超声波震板(18)，所述超声波震板(18)位于所述搅拌箱(2)的底部，搅拌箱(2)底部开设有第一通孔(19)和第二通孔(20)，所述第一通孔(19)与第一水管(21)相连接，所述第一水管(21)上设有第一阀门(22)，所述第二通孔(20)与第二水管(23)相连接，所述第二水管(23)上设有第二阀门(24)，所述第二水管(23)远离所述第二通孔(20)的一端与水泵(25)相连接，所述水泵(25)的另一端设有第三水管(26)，所述第三水管(26)分别与数量为两个的第四水管(27)相连通，所述第四水管(27)上设有第三阀门(28)，所述第四水管(27)分别与临时储液箱(29)相连接。