[实用新型]可变探针芯片测试底座有效

专利信息
申请号: 201822131952.3 申请日: 2018-12-19
公开(公告)号: CN209432867U 公开(公告)日: 2019-09-24
发明(设计)人: 吴泓要;尹彬锋 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 焦天雷
地址: 201315 上海市浦东新区中国(上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开一种可变探针芯片测试底座,包括:基部、滑动单元、盖部和探针;所述基部设有多个第一通孔,所述基部四周设有阻挡件,多个所述滑动单元被所述阻挡件包围固定在基部上,所述滑动单元彼此之间滑动连接,所述盖部盖装在所述滑动单元上,所述盖部上设置有多个第二通孔,所述滑动单元被基部和盖部夹持,所述滑动单元上设有第三通孔,所述探针从第二通孔穿过盖部并穿入第三通孔自第一通孔穿出。本实用新型能根据芯片测试需要调整测试底座的探针数量和探针位置,可有效降低测试过程中静电对芯片损伤的风险,避免因静电损伤造成芯片报废,降低测试时间和测试成本。
搜索关键词: 滑动单元 通孔 盖部 基部 探针 本实用新型 测试底座 探针芯片 阻挡件 可变 测试成本 测试过程 调整测试 滑动连接 静电损伤 探针位置 芯片报废 芯片测试 芯片损伤 静电 穿出 穿入 夹持 底座 包围 测试 穿过
【主权项】:
1.一种可变探针芯片测试底座,其特征在于,包括:基部、滑动单元、盖部和探针;所述基部设有多个第一通孔,所述基部四周设有阻挡件,多个所述滑动单元被所述阻挡件包围固定在基部上,所述滑动单元彼此之间滑动连接,所述盖部盖装在所述滑动单元上,所述盖部上设置有多个第二通孔,所述滑动单元被基部和盖部夹持,所述滑动单元上设有第三通孔,所述探针从第二通孔穿过盖部并穿入第三通孔自第一通孔穿出。
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