[实用新型]硅片传输分选装置

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供一种硅片传输分选装置，包括两来料传输机构、第一交叉传输机构、多个第二交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机。传输线提升机的输出端连接于分选传输机构。分选传输机构包括两分选传输链，两分选传输链均具有多个分选工位，第一交叉传输机构包括两第一交叉传输链。来料晶体硅片由来料传输机构传输至第一交叉传输机构，并传输至对应的分选工位上，当分选传输机构沿竖直方向上上移，来料晶体硅片沿分选传输链传输至其余的分选工位。当分选传输机构沿竖直方向上下移，各晶体硅片传输至对应第二交叉传输链上。该硅片传输分选装置实现来料晶体硅片由一路传输变成多路传输，分选转运效率更高。

主权项

1.一种硅片传输分选装置，其特征在于：包括两来料传输机构、第一交叉传输机构、多个沿硅片传输方向并排设置的第二交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机，所述传输线提升机的输出端连接于所述分选传输机构且可沿竖直方向升降移动所述分选传输机构，所述分选传输机构包括平行且间隔设置的两分选传输链，两所述分选传输链均具有多个位置对应的分选工位，所述第一交叉传输机构包括平行且间隔设置的两第一交叉传输链，所述第一交叉传输机构的两所述第一交叉传输链设于其中一所述分选工位处且位于所述分选传输链的一侧，所述第一交叉传输链的传输端面高于所述分选传输链的传输端面，两所述来料传输机构分别布设于所述第一交叉传输机构的相对两端，各所述第二交叉传输机构均包括平行且间隔设置的两第二交叉传输链，各所述第二交叉传输机构的两所述第二交叉传输链分别设于剩余的所述分选工位处且均位于所述分选传输链的另一侧，各所述第二交叉传输链的传输端面均低于所述分选传输链的传输端面。