[发明专利]使用宽带红外辐射的检验及计量在审
| 申请号： | 201880009937.1 | 申请日： | 2018-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN110312925A | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 勇-霍·亚历克斯·庄;V·埃斯凡迪亚普尔;约翰·费尔登;张百钢;银英·肖李 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/3563 | 分类号： | G01N21/3563;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示用于使用宽带红外辐射测量或检验半导体结构的系统及方法。所述系统可包含照明源，所述照明源包括经配置以产生泵浦光的泵浦源及经配置以响应于所述泵浦光而产生宽带IR辐射的非线性光学NLO组合件。所述系统还可包含检测器组合件及经配置以将所述IR辐射引导到样本上且将从所述样本反射及/或散射的所述IR辐射的一部分引导到所述检测器组合件的一组光学器件。 | ||
| 搜索关键词： | 宽带 检测器组合件 泵浦光 照明源 样本 配置 红外辐射测量 半导体结构 非线性光学 光学器件 红外辐射 泵浦源 组合件 散射 反射 检验 计量 响应 | ||
【主权项】：
1.一种系统，其包括：照明源，其中所述照明源包括宽带光源组合件，其中所述宽带光源组合件包括：泵浦源，其经配置以产生具有所选择的波长的泵浦光；及非线性光学NLO组合件，其经配置以响应于由所述泵浦源产生的所述泵浦光而产生宽带红外IR辐射；检测器组合件；及一组光学器件，其经配置以将所述IR辐射引导到样本上，其中所述组光学器件经进一步配置以将来自所述样本的所述IR辐射的一部分引导到所述检测器组合件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880009937.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：干燥度传感器
- 下一篇：分析多个液滴并从中选择特定液滴的方法和相关装置
- 同类专利
- 使用宽带红外辐射的检验及计量-201880009937.1
- 勇-霍·亚历克斯·庄;V·埃斯凡迪亚普尔;约翰·费尔登;张百钢;银英·肖李 - 科磊股份有限公司
- 2018-02-03 - 2019-10-08 - G01N21/3563
- 本发明揭示用于使用宽带红外辐射测量或检验半导体结构的系统及方法。所述系统可包含照明源，所述照明源包括经配置以产生泵浦光的泵浦源及经配置以响应于所述泵浦光而产生宽带IR辐射的非线性光学NLO组合件。所述系统还可包含检测器组合件及经配置以将所述IR辐射引导到样本上且将从所述样本反射及/或散射的所述IR辐射的一部分引导到所述检测器组合件的一组光学器件。
- 光学式谷粒评价装置及具备所述光学式谷粒评价装置的联合收割机-201580028845.4
- 森本进;添正夫 - 株式会社久保田
- 2015-08-14 - 2019-07-09 - G01N21/3563
- 光学式谷粒评价装置具备：投光部(58)，其将来自光源的光向谷粒照射；受光部(59)，其供透过谷粒的光入射；谷粒评价部(60)，其基于接收到的光的信息评价谷粒；遮蔽部(SH)，其将光源(50)和投光部(59)之间的区域与受光部(59)和谷粒评价部(60)之间的区域隔离开，阻止光从投光部(58)直接向受光部(59)入射；光源(50)和投光部(58)之间的区域以及受光部(59)和谷粒评价部(60)之间的区域的全部区域构成为光在空气中传播的空气传播区域。
- 大光圈太赫兹-吉赫兹镜片系统-201680001868.0
- 劳伦斯·大庆·庄;吴彦儒 - 镜元科技股份有限公司;劳伦斯·大庆·庄;吴彦儒
- 2016-07-29 - 2019-06-14 - G01N21/3563
- 用于太赫兹‑吉赫兹影像系统的镜片系统。每一个提出的镜片系统都包含或是球面状或是非球面状或是平面状的两个薄镜片元件，在此这些镜片元件可以组合起来提供具有小光圈值的太赫兹‑吉赫兹折光能力。镜片系统可以将太赫兹‑吉赫兹波转向进而在平面状太赫兹‑吉赫兹影像感测器形成物件的影像(像是人体大小物件)。为了达到够好的聚焦品质，镜片元件的曲率半径、轮廓、距离与非球面系数都是可以调整选择的。镜片元件相互距离以及镜片元件与影像感测器距离都是可以调整的，藉以改变焦距长度与聚焦距离来达到最佳化的视野角与影像解析度。这些镜片的大小尺寸可以随着物件的大小尺寸或是孔径栏的大小尺寸而相对应改变。
- 纤维鉴别方法-201780063271.3
- 高柳正夫;吉村季织;斋藤健吾;安藤健;菅野麻奈美 - 一般财团法人尼森肯品质评价中心
- 2017-05-26 - 2019-06-04 - G01N21/3563
- 本发明提供一种纤维鉴别方法，其鉴别操作比较简单且具有客观性，能够在不依赖于检查员的经验、专有技术的情况下进行同类异种纤维的鉴别，并且能够极力减小根据所要鉴别的纤维的组合产生的鉴别精度的偏差，从而实现高度的鉴别精度。对于所要鉴别的2种(2组)以上的同类异种纤维，分别准备多条纤维种类已知的单一纤维作为比较纤维，对各比较纤维照射红外线或近红外线而求出各自的吸收光谱。基于这些光谱数据X，进行求出组间分离且各组集中的轴w的判别分析，由所得到的得分图预先制作判别模型。接着，将纤维种类未知的纤维作为被测纤维，将以与判别模型的制作相同的方式由该被测纤维的光谱数据Y求出的得分套用至判别模型中，比对被测纤维属于哪一组，从而鉴别纤维的种类。
- 谷粒质量测定装置-201780028441.4
- 石津裕之;青岛由武;福元义高;殿柿章子 - 静冈制机株式会社
- 2017-08-28 - 2019-01-04 - G01N21/3563
- 提供一种谷粒质量测定装置，其可根据待测定得谷粒形状通过自动改变装置的光路长度而精准且有效地对各种谷粒执行质量测定。本发明的装置的特征在于包含：料斗，配置于装置的框体的上部且其中投入谷粒；叶轮，通过叶轮的转动将投入至料斗的谷粒进行输送；样品测定部，配置于叶轮的下方且可填充预定量的谷粒；测定元件，用于光学测定填充至样品测定部的谷粒质量，以及控制装置，可根据投入至料斗的谷粒的形态调整自测定元件的透射光的光路长度。光路长度的控制是通过电性调整光路长度调整组件的位置来执行。
- 用于污渍处理的方法和装置-201680048983.3
- D·J·库克;K·S·李 - 荷兰联合利华有限公司
- 2016-08-19 - 2018-04-17 - G01N21/3563
- 一种用于识别织物(10)上的污渍的方法，所述方法包括以下步骤进行近红外反射光谱法以在从最短波长至最长波长的波长范围内从所述污渍获得光谱数据，所述最短波长具有1595nm或更长的值；访问已知污渍的参考光谱数据(33)；和将所述污渍的所述光谱数据与所述已知污渍的参考光谱数据进行比较以识别所述污渍。
- 膜生产方法、膜生产过程监控装置和膜检查方法-201480008144.X
- 木村彰纪;森岛哲;伊藤真澄;菅沼宽 - 住友电气工业株式会社
- 2014-03-03 - 2015-11-18 - G01N21/3563
- 本发明的目的在于使用简单的方法以高精度确定膜的特性。一种使用膜生成过程监控装置(100)制造膜的方法(1)包括：波谱获取步骤，其用于从光源(10)朝向沿方向A移动的膜(1)照射宽带光(L1)(其为近红外光)，从而在光接收单元(30)中接收从膜(1)发出的漫反射光(L2)，并由此在分析仪(40)的波谱获取单元(40a)中获取漫反射光(L2)的波谱；以及物理值计算步骤，其用于根据所获取的漫反射光(L2)的波谱计算与膜(1)相关的物理值。由于通过获取波谱可以得到表示膜(1)的特性的物理值，因此可以以简单的方式确定膜的特性，并且例如可以从波谱获取多条信息。因此，可以以高精度确定膜的特性。
- 专利分类
