[发明专利]试样支撑体有效
申请号: | 201880060456.3 | 申请日: | 2018-08-22 |
公开(公告)号: | CN111094966B | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 大村孝幸;小谷政弘 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01N27/626 | 分类号: | G01N27/626;H01J49/04;H01J49/10;H01J49/16 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 试样支撑体(1A)包括基板(2)、电离基板(3)、支撑部(5)和框架(7)。电离基板(3)在第2表面(3b)上具有用于滴落试样的多个测量区域(R)。在电离基板(3)的至少各测量区域(R)形成有在第1表面(3a)和第2表面(3b)开口的多个贯通孔(3c)。至少在第2表面(3b)上的贯通孔(3c)的周缘部设置有导电层(4)。框架(7)具有壁部(7b),壁部(7b)以从基板(2)与电离基板(3)相对的方向观察划分多个测量区域(R)的方式设置于第2表面(3b)上的各测量区域(R)的周缘部上。 | ||
搜索关键词: | 试样 支撑 | ||
【主权项】:
暂无信息
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