[发明专利]一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置在审

专利信息
申请号: 201910030831.6 申请日: 2019-01-14
公开(公告)号: CN109668675A 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: 郝秀春;陈忠位;李宇翔;蒋纬涵 申请(专利权)人: 江苏大学
主分类号: G01L9/12 分类号: G01L9/12;G01L27/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212013 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置,电容数字转换模块与MEMS敏感元件连接,将电容信号直接转化为数字信号传送给主控模块,所述的主控模块根据敏感元件电容与气压的关系将电容值转换为气压值,封装成帧后通过串口模块输出,所述的DA转换模块与主控模块之间通信,通过MCU将标定后的气压值线性地转换为电压输出。与现有技术相比优点及有益效果是:能够一次测量三路微小电容;经MCU处理后,模拟输出和数字输出都直接与气压相关,无需再进行二次处理;有模拟和数字两种类型的输出,更具有适用性,可应用于多种场合。
搜索关键词: 气压 输出 主控模块 气压传感器 双路 电容数字转换模块 敏感元件电容 串口模块 电容信号 电压输出 二次处理 封装成帧 敏感元件 数字输出 数字信号 微小电容 一次测量 直接转化 电容 转换 标定 三路 通信 应用
【主权项】:
1.一种MEMS集成气压传感器双路输出的装置,其特征在于,包括MEMS敏感元件、电容数字转换模块、DA转换模块、串口模块以及主控模块;MEMS敏感元件与电容数字转换模块连接,主控模块分别与DA转换模块、电容数字转换模块和串口模块连接;所述的电容数字转换模块与MEMS敏感元件连接,将电容信号直接转化为数字信号传送给主控模块,所述的主控模块根据敏感元件电容与气压的关系将电容值转换为气压值,封装成帧后通过串口模块输出,所述的DA转换模块与主控模块之间通信,通过MCU将标定后的气压值线性地转换为电压输出。
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