[发明专利]一种用于镜面检验的相对式摆臂式轮廓仪及检测方法有效
| 申请号： | 201910333161.5 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN110017795B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 郑奕;魏凯;梁斌;李颖 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/02;G01B21/02;G01C21/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李湘群 |
| 地址： | 210042 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于镜面检验的相对式摆臂式轮廓仪及检测方法。在摆臂式轮廓仪的下方安装有轮廓仪相对镜面姿态检测结构，所述轮廓仪相对镜面姿态检测结构包括三个姿态传感器，所述三个姿态传感器的安装点构成一个三角形，所述三角形垂直于摆臂式轮廓仪的转轴，且转轴的轴线通过所述三角形的中心，所述摆臂式轮廓仪使用设有中孔的中空气浮转台，所述轮廓仪相对镜面姿态检测结构穿过所述中孔连接到摆臂式轮廓仪不转动的部分上。本发明的相对式摆臂式轮廓仪还包括探头倾斜姿态精密调整结构。本发明用于镜面检验的相对式摆臂式轮廓仪及检测方法提高了检测结果的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检验 相对 式摆臂式 轮廓仪 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于镜面检验的相对式摆臂式轮廓仪，其特征在于：在摆臂式轮廓仪的下方安装有轮廓仪相对镜面姿态检测结构，所述轮廓仪相对镜面姿态检测结构包括三个姿态传感器，所述三个姿态传感器的安装点构成一个三角形，所述三角形垂直于摆臂式轮廓仪的转轴，且转轴的轴线通过所述三角形的中心，所述摆臂式轮廓仪使用设有中孔的中空气浮转台，所述轮廓仪相对镜面姿态检测结构穿过所述中孔连接到摆臂式轮廓仪不转动的部分上。
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