[发明专利]具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置有效
申请号: | 201910519990.2 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN111090013B | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 甘中元 | 申请(专利权)人: | 锋华科技股份有限公司;甘中元 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G05D23/19 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 孙乳笋;王涛 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种具有预先调整温度的卷带式覆晶薄膜测试装置,包含:一第一腔室,一覆晶薄膜进入或离开第一腔室,并于第一腔室中进行覆晶薄膜的测试;一温度调整腔,覆晶薄膜进入温度调整腔后,覆晶薄膜的温度获得预先调整至一第一设定温度;一温度回温腔,覆晶薄膜进入温度回温腔后,覆晶薄膜的温度获得回温至一第二设定温度;一通道,连通温度调整腔与温度回温腔,并让覆晶薄膜于通道中移动;以及一推板,推板预先调整至第一设定温度后,用以支撑通道中的覆晶薄膜,使通道中的覆晶薄膜于开口中测试区以接触一探针卡,并在测试规范温度中测试该覆晶薄膜;其中,第一腔室包覆温度调整腔、温度回温腔、通道、以及推板。 | ||
搜索关键词: | 具有 预先 调整 温度 卷带式覆晶 薄膜 测试 装置 | ||
【主权项】:
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