[发明专利]一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置在审
申请号: | 201910578365.5 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110306170A | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 闫宁;范波;吴啸;徐帅 | 申请(专利权)人: | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
主分类号: | C23C16/517 | 分类号: | C23C16/517;C23C16/27 |
代理公司: | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人: | 贾东东 |
地址: | 450000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域,尤其涉及一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置,波导组件包括引风管段,用于设置在微波发生器和模式转换器之间,引风管段侧壁上设置有引风通道,用于将引风管段内腔和外界进行连通,还包括风机,与引风通道对接,用于在引风通道处向引风管段内腔中送风,或者从引风管段内腔中吸风,以在波导内腔中形成气流,引风管段内固设有透波挡风板,用于阻挡气流流向微波发生器。工作时,通过风机的送风或吸风,使得外界冷空气能够进入装置内对装置内的核心部件进行冷却,确保装置能够稳定地工作。 | ||
搜索关键词: | 引风 微波等离子体化学气相沉积 波导组件 管段内腔 引风通道 管段 微波发生器 风机 送风 吸风 模式转换器 外界冷空气 波导内腔 核心部件 进入装置 气流流向 确保装置 挡风板 侧壁 透波 连通 冷却 阻挡 | ||
【主权项】:
1.一种波导组件,其特征是,包括引风管段、风机和透波挡风板,所述引风管段,布置在微波发生器和模式转换器之间以传导微波,所述引风管段侧壁上设置有引风通道,用于将引风管段内腔和外界进行连通,还包括风机,与引风通道对接,用于在引风通道处向引风管段内腔中送风,或者从引风管段内腔中吸风,以在引风管段内腔中形成冷却气流,引风管段内固设有透波挡风板,用于阻挡气流流向微波发生器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,未经郑州磨料磨具磨削研究所有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910578365.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:菱形硅片载片舟的冷却装置
- 下一篇:一种改善气体分布的沉积室及MPCVD装置
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的