[发明专利]一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置及方法

摘要

本发明公开了一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置。与现有技术相比，本发明采用双回路过滤，可同时处理两个钢瓶，提高了钢瓶的处理效率，以反复过滤取代大量高纯水清洗，不产生废液，也无需再对钢瓶进行除水处理，减少了钢瓶的处理时间且用量少，装置结构设计合理，操作简单，可以严格控制金属杂质含量在可接受范围之内，同时还可进一步设置有尾气吸附柱，解决了尾气排放环境污染的问题。

主权项

1.一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置，其特征在于，包括：第一过滤器、第二过滤器、高纯氮气钢瓶、超高纯正硅酸乙酯钢瓶、第一待处理钢瓶、第二待处理钢瓶与真空泵；所述超高纯正硅酸乙酯钢瓶中设置有超高纯正硅酸乙酯；所述第一待处理钢瓶包括气相阀门与液相阀门；所述第二待处理钢瓶包括气相阀门与液相阀门；所述超高纯正硅酸乙酯钢瓶与第一待处理钢瓶的液相阀门相连通；所述第一待处理钢瓶与第二待处理钢瓶通过第一过滤器及第二过滤器相连通；所述第一过滤器与第二过滤器为并联；所述高纯氮气钢瓶与第一待处理钢瓶的气体阀门及第二待处理钢瓶的气体阀门相连通；所述真空泵与第一待处理钢瓶的气体阀门及第二待处理钢瓶的气体阀门相连通。